光罩技術(shù)的GM影像式測(cè)量?jī)x系列，為七海之光罩技術(shù)制造而成，此技術(shù)已獲美國(guó)、臺(tái)灣及大陸等地區(qū)的發(fā)明和。此類機(jī)種的幾乎不受機(jī)械誤差及阿貝誤差影響，尤其是X、Y軸行程在600mm × 500mm以上的機(jī)型，無論是XY軸向，還是XY平面坐標(biāo)皆能在5μ內(nèi)，其精準(zhǔn)度比價(jià)值內(nèi)的德國(guó)、日本或其它國(guó)外的機(jī)器更精準(zhǔn)。
 
  
『參數(shù)』：

重現(xiàn)性 < 0.002mm
臺(tái)面大小 700*650mm
解析力標(biāo)準(zhǔn) 0.001mm
機(jī)臺(tái)重量 750kg(包括機(jī)架)
平面 3.5+5L/1000μm
影像放大倍率 20x-120x 30x-225x
示值(X、Y） 3+5L/1000μm
光學(xué)放大倍率 0.65X-4.5X
工作行程(X/Y/Z) 600*500*200mm 1000*800*200mm
CCD 彩色1/3英寸高解析480TV線
外形尺寸(WxDxH) 1250*808*1680mm
可選配置 旋轉(zhuǎn)燈
測(cè)量范圍(X*Y*Z) 600*500*100mm
工作行程 811*1250*1680mm
影像攝取系統(tǒng) sony芯片高解析彩色CCD
測(cè)量理論 晶元光罩坐標(biāo)系統(tǒng)
鏡頭     SEVEN OCEAN OPTICAL 自動(dòng)變焦鏡頭
控制系統(tǒng)     全自動(dòng)閉環(huán)控制系統(tǒng)，日本松下PANASONIC伺服閉環(huán)控制系統(tǒng)
工作臺(tái)結(jié)構(gòu) 00級(jí)花崗巖
儀器結(jié)構(gòu) 00級(jí)花崗巖
電源 220V 50±5HZ 功率 1KV
溫度范圍 20±5℃ 1℃/h 2℃/24h 1℃/m
濕度 40%-70%
震動(dòng) < 30HZ
工作臺(tái)承重 3-5KG均布
『新技術(shù)：晶元光罩技術(shù)——多國(guó)發(fā)明』：
◇　純軟件工作平臺(tái)
◇　光學(xué)技術(shù)無阿貝誤差
◇　非龍門式大型外架設(shè)計(jì)，動(dòng)量降至，無剛性不足與運(yùn)動(dòng)遲滯之問題
◇　平面坐標(biāo)測(cè)量
◇　不需要光柵尺、不需要編碼器

『測(cè)量軟件』：
※　CNC電動(dòng)桌面（以軟件功能控制工作臺(tái)面，增加操作人員使用上及操作上的方便性）
※　有強(qiáng)大的環(huán)形、矩形陣列功能， 并能運(yùn)行CNC自動(dòng)測(cè)量。
※　CNC自動(dòng)測(cè)量編程：可以自定義控制表面光（上燈光源）、穿透光（底光）、各種角度光（旋轉(zhuǎn)燈）、CCD對(duì)比度來做CNC自動(dòng)測(cè)量，避免了以前用底光做CNC的局限性。
※　CNC自動(dòng)測(cè)量編程：可以編程有高度差的測(cè)量，并且可以自定義客戶坐標(biāo)進(jìn)行編程與保存。
※　存檔照片輸入與實(shí)時(shí)影相中的實(shí)際工件進(jìn)行對(duì)比功能
※　實(shí)時(shí)影像中可任意設(shè)置坐標(biāo)原點(diǎn)(0,0)
※　輸出到AutoCAD圖形自動(dòng)擺正功能
※　可輸入AutoCAD的標(biāo)準(zhǔn)工程圖進(jìn)入實(shí)時(shí)影像中與實(shí)際工件對(duì)比功能
※　鳥瞰功能：可檢視當(dāng)前繪圖位置
※　直接用鍵盤輸入圓及線段功能
※　直接畫線、圓、弧時(shí)，可以同時(shí)在AutoCAD及本測(cè)繪儀軟體中同時(shí)生成相應(yīng)的圖形
※　強(qiáng)大的去毛刺功能，可以自動(dòng)抓取線、圓、弧，減少人為測(cè)量造成的誤差。
※　智慧型取R角功能
※　測(cè)量系統(tǒng)：對(duì) 物體的長(zhǎng)寬及 線、圓、弧、角度等進(jìn)行測(cè)量與標(biāo)注
※　繪圖系統(tǒng)：畫線、圓、弧及線段之垂直線、水平。
※　亦可修改圖形，并將圖形輸入到AutoCAD
※　圖形輸入到AutoCAD中，可將當(dāng)前影像拍下以JPEG格式儲(chǔ)存
※　自動(dòng)尋邊，自動(dòng)捕捉
※　XY可移動(dòng)平臺(tái)：可轉(zhuǎn)動(dòng)X、Y軸向，前后左右移動(dòng)桌面，避免用手移動(dòng)工件，造成檢測(cè)誤差
※　輔助對(duì)焦：使畫面清晰度
※　自動(dòng)對(duì)焦：電腦自動(dòng)判斷影像的清晰面。