測(cè)量元素:原子序號(hào)22（Ti）～83（Bi）
X射線源:空冷式小型X射線管
檢測(cè)器:比例計(jì)數(shù)管
準(zhǔn)直器:○型： 0.1mmφ、0.2mmφ　2種
樣品觀察:CCD攝像頭（可進(jìn)行廣域觀察）
對(duì)焦:激光點(diǎn)（自動(dòng)）
濾波器：濾波器： 自動(dòng)切換
樣品臺(tái)（臺(tái)式尺寸）: 500（W） x400（D） x 150（H）mm
（移動(dòng)量）:X:250mm, Y:200mm
操作部:電腦、19寸液晶
測(cè)量軟件:薄膜FP法 （多5層膜、10種元素）、標(biāo)準(zhǔn)曲線法
數(shù)據(jù)處理:配備有Microsoft® Excel、Microsoft® Word
機(jī)構(gòu):樣品門連鎖、樣品的沖撞功能、儀器診斷功能

日本精工電子有限公司的子公司精工電子納米科技有限公司推出配備自動(dòng)定位功能的[X射線熒光鍍層厚度測(cè)量?jī)xSFT-110]，使操作性進(jìn)一步。
　　對(duì)半導(dǎo)體材料、電子元器件、汽車部件等的電鍍、蒸鍍等的金屬薄膜和組成進(jìn)行測(cè)量管理，可產(chǎn)品的功能及品質(zhì)，降。精工從1971年次推出非接觸、短時(shí)間內(nèi)可進(jìn)行高測(cè)量的X射線熒光鍍層厚度測(cè)量?jī)x以來，已經(jīng)累計(jì)銷售6000多臺(tái)，得到了國(guó)內(nèi)外鍍層厚度、金屬薄膜測(cè)量領(lǐng)域的高度關(guān)注和支持。
　　為了適應(yīng)日益的鍍層厚度測(cè)量需求，精工開發(fā)了配備有自動(dòng)定位功能的X射線熒光鍍層厚度測(cè)量?jī)xSFT-110。通過自動(dòng)定位功能，需把樣品放置到樣品臺(tái)上，就可在數(shù)秒內(nèi)對(duì)樣品進(jìn)行自動(dòng)對(duì)焦。由此，無需進(jìn)行以往的手動(dòng)逐次對(duì)焦的操作，大大了樣品測(cè)量的操作性。
　　近年來，隨著檢測(cè)件的微小化，對(duì)微區(qū)的高測(cè)量的需求日益增多。SFT-110實(shí)現(xiàn)微區(qū)下的高靈敏度，即使在微小準(zhǔn)直器（0.1、0.2mm）下，也能夠大幅度膜厚測(cè)量的。并且，配備有新開發(fā)的薄膜FP法軟件，即使沒有厚度標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì)也可進(jìn)行多達(dá)5層10元素的多鍍層和合金膜的測(cè)量，可對(duì)應(yīng)更廣泛的應(yīng)用需求。

特點(diǎn)
即放即測(cè)！
通過自動(dòng)定位功能，放置樣品后需幾秒，便能自動(dòng)對(duì)準(zhǔn)觀察樣品焦點(diǎn)。
　
10秒鐘完成50nm的薄金鍍層測(cè)量！
以的設(shè)計(jì)實(shí)現(xiàn)微小區(qū)域下的高靈敏度，即使在微小準(zhǔn)直器（0.1、0.2mm）下，也能夠大幅度地膜厚測(cè)量的。

無標(biāo)樣測(cè)量！
將薄膜FP軟件進(jìn)一步擴(kuò)充，即使沒有厚度標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì)也能進(jìn)行高的測(cè)量。也可簡(jiǎn)單地測(cè)量多鍍層膜和合金膜樣品。