1. 型號規(guī)格:FLY 654
2. 主要技術(shù)指標(biāo):
2.1測量范圍:X=500mm,Y=600mm,Z=400mm
2.2空間測量示值誤差:E≤2.7+L/250µm
2.3探測誤差:R≤2.8µm
2.4分辨率:0.5µm
2.5運動速度:300mm/s
2.6承受重量:500kg
2.7儀器重量:650kg
2.8外型尺寸:1500mm×1250mm×2500mm
2.9環(huán)境要求:
l 溫度范圍:20&plun;2℃,0.5℃/h
l 氣源壓力: 0.6MPa~0.8MPa,200L/min(0.4MPa)
l 濕度范圍:45%-65%
l 電源: 220V&plun;10% ,50Hz
l 功率:1200瓦
地面振動:頻率范圍:0~6Hz, 6~50Hz, >50Hz