特點
分辨率/重復(fù)為 0.1μm/0.4μm 時,精
度可 ( 1.1+0.6L/600 ) μm 。
垂直度 ( 前部 ) 達 5μm ,直線度達 4μm 。
全/半空氣浮動系統(tǒng)可調(diào)節(jié)氣墊高度。
帶有基本統(tǒng)計功能, 另外,通過 RS-232C
數(shù)據(jù)輸出與帶有 SPC 軟件的電腦相連,
可實現(xiàn)外部測量數(shù)據(jù)評估。
半自動測量時具有單鍵操作功能。
通過 Digimatic 工具實現(xiàn)數(shù)據(jù)輸入。
為方便用戶操作,可選擇多種信息語言包
括英語、德語、法語、西班牙語、意大
利語、荷蘭語、葡萄牙語、瑞典語、捷
克語、匈牙利語、斯諾文尼亞語、波蘭語、
土耳其語、繁體中文、朝鮮語、和日語。
可選限 518-341K 和 518-342K 型