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高半自動(dòng)光刻機(jī) 北京特博萬(wàn)德科技有限公司
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高半自動(dòng)光刻機(jī) 北京特博萬(wàn)德科技有限公司

產(chǎn)品價(jià)格：
電議
產(chǎn)品型號(hào)：
可選擇
供應(yīng)商等級(jí)：
免企業(yè)未認(rèn)證
經(jīng)營(yíng)模式：
工廠
企業(yè)名稱：
北京特博萬(wàn)德科技有限公司
所屬地區(qū)：
北京市
發(fā)布時(shí)間：
2014/10/23 19:58:33

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李先生先生(聯(lián)系我時(shí)，請(qǐng)說明是在維庫(kù)儀器儀表網(wǎng)看到的，謝謝)

企業(yè)檔案

北京特博萬(wàn)德科技有限公司

免企業(yè)未認(rèn)證證營(yíng)業(yè)執(zhí)照已上傳

經(jīng)營(yíng)模式：工廠

所在地：北京市

主營(yíng)產(chǎn)品：晶圓全檢儀、低溫真空泵

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  • 原產(chǎn)地：美國(guó)

能力

數(shù)值

X, Y方向運(yùn)動(dòng)距離，

+/-6mm； 
0.1微米

Z方向

+/-0.5微米

Theta; 

+/-3°；0.001°

光罩旋轉(zhuǎn)

+/-15°

控制方式

軟件控制，多種工藝參數(shù)可自行設(shè)定

卡盤移動(dòng)控制

電子桿

光刻模式

靠近、軟接、硬接和真空接觸

預(yù)對(duì)準(zhǔn)能力

X,Y方向+/-25微米；Theta 0.5°

精對(duì)準(zhǔn)能力

小于1微米

光罩尺寸

 14”×14”

適用的樣品尺寸

50 ～ 300mm

光源選擇

近紫外，中紫外和深紫外

 

聯(lián)系方式

北京特博萬(wàn)德科技有限公司

聯(lián)系人：
李先生先生
手機(jī)：
13810504825
傳真：
010-87700693
所在地：
北京市
類型：
工廠
地址：
北京市朝陽(yáng)區(qū)四惠橋凌科商務(wù)花園406

服務(wù)熱線

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