KOSAKA LAB EF 650D（輪廓形狀測(cè)定機(jī)）

特點(diǎn)：

*具有數(shù)字式圓弧補(bǔ)正機(jī)能，以減少圓弧運(yùn)動(dòng)之誤差。

* 45°傾斜機(jī)構(gòu)：可根據(jù)工件形狀，于45°內(nèi)任意自由變化。

*新開(kāi)發(fā)測(cè)定力調(diào)整：依據(jù)轉(zhuǎn)盤(pán)式、測(cè)定力調(diào)整機(jī)構(gòu)，可于Stylus種類(lèi)及姿勢(shì)不變情況下，簡(jiǎn)單地設(shè)置測(cè)定力。

*高Real time測(cè)定。

*測(cè)定方向選擇：測(cè)定方向可上/下、右/左、自動(dòng)切換，可避免測(cè)試物擺設(shè)之困擾。

* Stylus升降機(jī)構(gòu)（電動(dòng)）。

*多功能之形狀解析裝置。

主要技術(shù)參數(shù)：

1.測(cè)定：Z：( 1 +｜0.04h um )   X：( 1 + 0.02L ) um L=測(cè)定長(zhǎng)度mm

2.測(cè)定范圍：縱（Z）58 mm、橫（X）100mm

3.X、Z軸Scale分解能：Z:0.1um、X：0.1μm

            點(diǎn)數(shù)：125,000點(diǎn)，間隔0.5um以上

4.測(cè)定倍率（X . Z）：0.01~10000倍

5.驅(qū)動(dòng)速度：0.02、0.05、0.1、0.5、1、2 mm / s（回程速度：驅(qū)動(dòng)速度0.02 ~ 10 mm / s）　

6.真直度：1μm / 100 mm

7.圓孤補(bǔ)正方式：數(shù)字式圓孤補(bǔ)正

8.檢出器PU-FJ25

         8-1. Stylus：R25μm超硬SB-610

         8-2.測(cè)定力：10 ~ 30 mN,可變

         8-3.追隨角度：爬升77°、下滑87°

         8-4.補(bǔ)助機(jī)能：跳動(dòng)機(jī)能、過(guò)負(fù)荷停止、Stylus電動(dòng)上下、測(cè)定范圍限制

9.測(cè)定方向：上、下兩方向（PU-FJ25），或推/拉兩方向。

10.驅(qū)動(dòng)裝置傾斜角度：±45°

11.檢出器上、下動(dòng)范圍：200 mm自動(dòng)停止含電動(dòng)上下

12.形狀解析機(jī)能：標(biāo)準(zhǔn)配件

13.電源：AC 100V 50 / 60 HZ   550 VA

14.設(shè)置尺寸：640*685*315mm測(cè)定裝置部約70kg，解析部約10kg