主要技術(shù)參數(shù)：
1.測定：Z：( 1 +｜0.04h um ) X：(1 + 0.02L ) um L=測定長度mm
2.測定范圍：縱（ Z ）58 mm、橫（ X ）100mm
3.X、Z 軸 Scale 分解能：Z:0.1um、X：0.1μm
點數(shù)：125,000點，間隔0.5um以上
4.測定倍率（X . Z）：0.01~10000 倍
5.驅(qū)動速度：0.02、0.05、0.1、0.5、1、2mm / s（回程速度：驅(qū)動速度0.02 ~ 10 mm / s）
6.真直度：1μm / 100 mm
7.圓孤補正方式：數(shù)字式圓孤補正
8.檢出器 PU-FJ25
8-1. Stylus：R25μm 超硬SB-610
8-2.測定力：10~ 30 mN,可變
8-3.追隨角度：爬升77° 、下滑 87°
8-4.補助機能：跳動機能、過負(fù)荷停止、Stylus電動上下、測定范圍限制
9.測定方向：上、下兩方向（PU-FJ25），或推 / 拉兩方向。
10.驅(qū)動裝置傾斜角度：± 45°
11.檢出器上、下動范圍：200 mm 自動停止含電動上下
12.形狀解析機能：標(biāo)準(zhǔn)配件
13.電源：AC 100V 50/ 60 HZ 550 VA
14.設(shè)置尺寸：640*685*315mm 測定裝置部約70kg，解析部約10kg
