KOSAKA LAB ET 4000A

微細(xì)形狀測定機(jī)（探針接觸式臺階儀）

株式會社小坂研究所（KOSAKA）是于1950年創(chuàng)立的公司，也是日本家發(fā)表光學(xué)干杠桿表面粗糙度計(jì)，是一家具有悠久歷史與技術(shù)背景的廠商,主要有測定/自動/流體三大部門。其中測定部門為具代表性單位且在日本精密測定業(yè)占有一席無法被取代的地位。

特點(diǎn)：

l  的臺階再現(xiàn)性與線性度。

l  超高真直度，可確保量測圖形不受任何影響，并可在真直度的保證下進(jìn)行長距離測量保證真直度的前提下長距離量測。

l  采用超低噪音直動式LVDT，超低測定力的觸針可任意調(diào)節(jié)。

l  配備高分辨率的CCD即時(shí)進(jìn)行高定位測量。

l  可對應(yīng)各種國際規(guī)范，測定參數(shù)多達(dá)60多種。

l  適用于各種與納米材料有關(guān)的MEMS、光電子、精加工表面、生物醫(yī)學(xué)器件、薄膜/化學(xué)涂層以及平板顯示等。

技術(shù)參數(shù)：

一、測定工件：

 1.工件尺寸 210mm×210mm

 2. 工件厚度  50mm

 3. 工件重量   2kg

二、檢出器（pickup）：

  1. Z方向測定范圍   Max. 100μm

  2. Z方向分解能   0.1nm

  3. 測定力   min. 0.05mgf,max.50mg0.5uN ~500Un(0.05mgf~50mgf)

  4. 觸針半徑   0.5, 2 μm

  5. 驅(qū)動方式  直動式

三、X 軸 (基準(zhǔn)軸)：

  1. 移動量(測長)   100mm

  2. 移動的真直度   0.005μm/5mm

  3. 測定速度   0.005 ~ 2mm/S

  4. 位置定位時(shí)速度  Max. 10mm/S

  5. 線性尺(linar scale)   分解能 0.01μm

  6. 位置定位再現(xiàn)性    ±5μm

  7. 滑軌   材質(zhì)為在鑄鐵(CD-5)上,鍍上硬質(zhì)Cr,

無潤滑(于移動臺側(cè),使用鐵弗龍折動材料)

  8. 驅(qū)動   DC motor + Dynamic belt

四、Y軸(位置決定用)：

  1. 移動量   52mm

  2. 移動速度    max.3mm/S

  3. 滑軌   Crose roller滑軌

  4. 驅(qū)動   DC motor + 滾珠螺桿(P=2mm)

  5. 檢出器自動停止機(jī)能

六、工件臺：

  1. 工件臺尺寸   220mm×220mm

  2. 自動傾斜量    X: ± 1mm/150mm    Y: ± 1mm/150mm

  3. 分解能   0.25μm

  4. 驅(qū)動   pulse motor

七、全自動量測功能

八、工件觀察      max.80 倍(可選購其它高倍率CCD)

九、床臺     材質(zhì)為花崗巖石

十、段差測定再現(xiàn)性   1δ,    5A°以內(nèi)

十一、防振臺(選購)    落地型或桌上型

十二、電源    AC100V±10%,50/60HZ,800VA

十三、本體外觀尺寸   W660×D580×H660mm(不含防震臺)

十四、本體重量    約200Kg(不含防震臺)