產(chǎn)品品牌：

德國(guó)蔡司（ZEISSE）

產(chǎn)品型號(hào)：

EVO

類(lèi)型：

電子顯微鏡

EVO® MA & LS系列基本規(guī)格
 
分辨率
 3.0 nm(2nm) @ 30 kV SE和W（LaB6）
4.5 nm      @ 30 kV BSD（VP模式）
15nm       @ 30 kV 1nA, LaB6
20nm(15nm) @   1kV SE和W（LaB6）
10nm       @   3kV SE
 
加速電壓
 0.2 - 30 kV 
 
放大倍數(shù)
 ﹤7 - 1,000,000 x / ﹤5 - 1,000,000 x 
 
X射線參數(shù)
 工作距離8.5 mm / 出射角35° 
 
OptiBeam®模式
 分辨率（Resolution）、景深（Depth）、分析（Analysis）、大視野（Field）、魚(yú)眼（Fisheye）
 
壓力范圍
 10 - 400 Pa（MA系列）
10 - 3000 Pa（LS系列）
 可以使用的探測(cè)器
 BSD －背散射電子探測(cè)器,多象限二極管
ETSE－Everhart-Thornley 二次電子探測(cè)器
VPSE－可變壓力二次電子探測(cè)器
SCD －樣品電流探測(cè)器 
EPSE－延伸可變壓力二次電子探測(cè)器 

圖象處理
 7種積分和平均模式  

系統(tǒng)控制
 基于Windows® XP的SmartSEM™ SmartPI™軟件

完整的顆粒分析方案
SmartPITM軟件的設(shè)計(jì)用于常規(guī)樣品大量的重復(fù)的分析，它可以自動(dòng)地產(chǎn)生，分析及包含微粒大小、形狀和化學(xué)組成等數(shù)據(jù)的。
在一個(gè)生成模式界面的引導(dǎo)，即使是一個(gè)不熟練的操作者也可以安裝樣品并選擇一個(gè)事先設(shè)定的程序來(lái)進(jìn)行分析和提供。
然后，SmartPITM軟件在自動(dòng)分析所有要求測(cè)試的樣品之前，完成統(tǒng)一的標(biāo)準(zhǔn)和設(shè)置 ，并將結(jié)果生成一個(gè)統(tǒng)一規(guī)格的。 

操作模式

Ÿ           自動(dòng)設(shè)置SEM和X射線工作條件
Ÿ           可按操作界面的向?qū)л斎霕悠沸畔⒉⑦x擇分析程序
Ÿ           此后SmartPI™程序?qū)⒆詣?dòng)測(cè)量、分類(lèi)并記錄每個(gè)顆粒的尺寸、形狀和化學(xué)組分，并生成顆粒

配置模式
簡(jiǎn)便易用的使用軟件，可供用戶(hù)靈活地設(shè)置顆粒掃描：
Ÿ           SEM的設(shè)置與校準(zhǔn)
Ÿ           樣品夾具與掃描程序

Ÿ           圖像處理與分析
Ÿ           EDS選擇與控制
Ÿ           自動(dòng)停止
模式
Ÿ           量身定制的數(shù)據(jù)
Ÿ           可追溯的數(shù)據(jù)處理

Ÿ           特殊調(diào)查時(shí)的單幀互動(dòng)式分析