- 產(chǎn)品品牌：
- SMI
- 產(chǎn)品型號：
- SM5852
- 制作工藝：
- 薄膜
- 輸出信號：
- 模擬型
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SM5812/SM5852系列為硅微結(jié)構(gòu)OEM壓力傳感器，結(jié)合了先進(jìn)的COMS數(shù)字信號處理技術(shù)及先進(jìn)的壓力傳感器加工技術(shù)生產(chǎn)的具有放大、充分校準(zhǔn)、多階壓力修正和溫度補(bǔ)償雙列直插式封裝的高性能壓力傳感器。 使用先進(jìn)的硅微結(jié)構(gòu)壓力傳感器，并集成信號調(diào)節(jié)ASIC技術(shù)，大大的簡化了高性能壓力傳感器的使用。SM5812和SM5852系列高性能壓力傳感器可以直接安裝在標(biāo)準(zhǔn)的PCB板上，經(jīng)過放大、高性、校準(zhǔn)過的壓力信號可以通過數(shù)字接口或者模擬輸出。這可以省去額外的電路，例如補(bǔ)償電路或者自定義的微控制器校準(zhǔn)電路。 SM5812和SM5852系列壓力傳感器基于SMI高穩(wěn)定性安裝在陶瓷基板上的壓阻式壓力芯片，一個可編程ASIC邏輯器件提供了校準(zhǔn)和溫度補(bǔ)償。 |
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| 特點(diǎn) | 應(yīng)用 |
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l 放大、校準(zhǔn)和溫度補(bǔ)償高輸出跨度（0.5V至4.5V信號） l 數(shù)字溫度和校準(zhǔn)壓力可通過I2C接口 l 輸出電壓與輸入電壓成比例 l 雙列直插式封裝易于使用 l 多階壓力、溫度非線性修正（工廠編程） l 多級滿量程溫度系數(shù)和零點(diǎn)溫度系數(shù)校準(zhǔn)（工廠編程） l 表壓、差壓和絕壓高性能傳感器 |
l 氣壓測量 l 醫(yī)療器械 l 氣動控制 l 氣體流量 l 呼吸器和通風(fēng)設(shè)備 暖氣、通風(fēng)及空調(diào) |
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l 操作說明 信號處理框架圖如下，外部壓力傳感器是壓阻式電橋，這種壓阻式橋梁將壓力信號轉(zhuǎn)變成電信號，然后輸入到集成的ASIC放大器中。 在壓力信號放大的同時加入校準(zhǔn)因子，以便于給定的壓力獲得的增益，同時減小偏移誤差。信號放大后經(jīng)過11位模數(shù)轉(zhuǎn)換器（ADC），經(jīng)過多次采樣后的總和做為13位信號的樣本。 一個數(shù)字信號處理器DSP用于修正和校準(zhǔn)壓力信號，通過工廠編程系數(shù)，DSP提供了多階壓力和溫度非線性校準(zhǔn)。綜合共有20個系數(shù)用于校準(zhǔn)壓力和溫度的非線性，獨(dú)特的系數(shù)確保在工廠生產(chǎn)中校準(zhǔn)。工廠校準(zhǔn)是后一步完成的，這意味著該程序包對封裝的影響也將予以考慮，這比傳統(tǒng)的激光微調(diào)方法具有很大優(yōu)勢。 DSP輸出一個校準(zhǔn)過的數(shù)字壓力信號，然后輸入一個12位數(shù)模轉(zhuǎn)換器(DAC)，為其提供校準(zhǔn)模擬輸出。除了模擬輸出，校準(zhǔn)過的數(shù)字壓力信號可通過一個I2C數(shù)字接口。 如何通過I2C數(shù)字接口讀取校準(zhǔn)過的數(shù)字壓力信號，請參考SMI應(yīng)用筆記AN05-001中的詳細(xì)介紹。 |
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性能參數(shù)
所有參數(shù)在室溫25℃，5V直流恒壓源供電的條件下測量而得，除非另外規(guī)定。
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絕壓、表壓和正差壓 |
差壓 |
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小值 |
典型值 |
值 |
小值 |
典型值 |
值 |
單位 |
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零點(diǎn)輸出（絕壓和表壓） |
0.42 |
0.50 |
0.58 |
|
|
|
V |
|
零點(diǎn)輸出（差壓） |
|
|
|
2.42 |
2.50 |
2.58 |
V |
|
滿量程輸出 0.15psi滿量程輸出 |
3.92 |
4.00 |
4.08 |
1.96 |
2.00 |
2.04 |
V FS |
|
3.80 |
4.00 |
4.20 |
1.90 |
2.00 |
2.10 |
V FS |
|
|
線性度 0.15psi 線性度 |
-0.5 |
|
+0.5 |
-0.5 |
|
+0.5 |
%FS |
|
-2.5 |
|
+2.5 |
-2.5 |
|
+2.5 |
%FS |
|
|
壓力遲滯性 5812 5852 |
-0.1 |
|
+0.1 |
-0.1 |
|
+0.1 |
%FS |
|
-0.3 |
|
+0.3 |
-0.3 |
|
+0.3 |
%FS |
|
|
零點(diǎn)溫度系數(shù) 0.15psi溫度系數(shù) |
-1.0 |
|
+1.0 |
-1.0 |
|
+1.0 |
%FS |
|
-2.5 |
|
+2.5 |
-2.5 |
|
+2.5 |
%FS |
|
|
滿量程溫度系數(shù) 0.15psi滿量程溫度系數(shù) |
-1.0 |
|
+1.0 |
-1.0 |
|
+1.0 |
%FS |
|
-2.0 |
|
+2.0 |
-2.0 |
|
+2.0 |
%FS |
|
|
熱遲滯性 |
-0.1 |
|
+0.1 |
-0.1 |
|
+0.1 |
%FS |
|
響應(yīng)時間 |
2 |
|
|
2 |
|
|
ms |
|
供電電壓 |
4.75 |
5.00 |
5.25 |
4.75 |
5.00 |
5.25 |
V |
|
耗電電流 |
|
|
10 |
|
|
10 |
mA |
|
過壓 5812 5852 |
3X |
|
|
3X |
|
|
%FS |
|
15X |
|
|
15X |
|
|
%FS |
|
|
工作溫度 |
-40 |
25 |
+125 |
-40 |
25 |
+125 |
℃ |
|
補(bǔ)償溫度 |
0 |
25 |
+70 |
0 |
25 |
+70 |
℃ |
|
存儲溫度 |
-55 |
25 |
+135 |
-55 |
25 |
+135 |
℃ |
備注：
1、 只有SM5812系列才有絕壓類型
2、 壓力類型S（Pressure Type-S）有兩個接氣端口，用于高增益正差壓
3、 輸出與輸入電壓成正比
4、 滿量程是指零壓力與額定壓力之差，差壓可以使用±FS。絕壓和表壓零點(diǎn)輸出標(biāo)準(zhǔn)值為0.5V，滿量程輸出為4.5V，跨度有別于滿量程輸出和零點(diǎn)輸出。對于差壓壓力傳感器而言，負(fù)壓力的滿量程輸出標(biāo)準(zhǔn)值為0.5V，零點(diǎn)輸出標(biāo)準(zhǔn)值為2.5V；正壓力滿量程輸出標(biāo)準(zhǔn)值為4.5V ±2.0 V跨度輸出
5、 低于額定壓力（低于0）時飽和放大器輸出約為0.25V，高于額定滿量程壓力時飽和放大器輸出約為4.75V
6、 一個100nF的濾波電容必須放置于地與供電腳之間
7、 所測介質(zhì)必須是清潔、干燥并與材質(zhì)兼容，材質(zhì)包括高硼硅玻璃、硅、氧化鋁陶瓷、環(huán)氧、RTV電子硅膠、黃金、鋁和鎳
SM5812/SM5852壓阻式壓力傳感器
外形結(jié)構(gòu)與電氣連接 單位：英寸
注：以上外形結(jié)構(gòu)圖所標(biāo)注的尺寸單位為英寸，尺寸大小以標(biāo)注的為準(zhǔn)
連接圖
| 模擬輸出接線圖 | 數(shù)字輸出接線圖 |
選型指南
SM5812壓阻式壓力傳感器 SM5812—030—S—3—L
|
型號 |
測量壓力范圍 |
壓力類型 |
引腳配置 |
接氣管類型 |
|
SM5812 |
005 |
A |
3 |
L |
|
SM5812 |
015 |
G |
5 |
N |
|
SM5812 |
030 |
D |
3 |
L |
|
SM5812 |
060 |
S |
5 |
N |
|
SM5812 |
100 |
G |
3 |
L |
注：SM5812系列有絕壓類型
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測量壓力范圍 |
壓力類型 |
引腳配置 |
接氣管類型 |
|
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PSI 5 15 30 60 100 |
SM5812 005 015 030 060 100 |
A—絕壓 D—差壓 G—表壓 S—正差壓 |
3：引腳與接氣管相反的方向 5：表面貼裝引腳與接氣管對面方向
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L—長接氣管
N—沒有接氣管 |
SM5852壓阻式壓力傳感器 SM5852—001—D—3—L
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型號 |
測量壓力范圍 |
壓力類型 |
引腳配置 |
接氣管類型 |
|
SM5852 |
001 |
D |
3 |
L |
|
SM5852 |
003 |
G |
5 |
N |
|
SM5852 |
008 |
D |
3 |
L |
|
SM5852 |
015 |
S |
5 |
N |
|
SM5852 |
030 |
G |
3 |
L |
注：SM5852沒有絕壓類型
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測量壓力范圍 |
壓力類型 |
引腳配置 |
接氣管類型 |
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PSI 0.15 0.30 0.80 1.50 3.00 |
SM5852 001 003 008 015 030 |
A—絕壓 D—差壓 G—表壓 S—正差壓 |
3：引腳與接氣管相反的方向 5：表面貼裝引腳與接氣管對面方向
|
L—長接氣管
N—沒有接氣管 |
