- 產(chǎn)品品牌:
- 德國(guó)
- 產(chǎn)品型號(hào):
- ZLM900
世界范圍內(nèi),同類產(chǎn)品中效率的干涉儀。
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上圖為一個(gè)具體的3-軸干涉鏡和3-軸反射鏡系統(tǒng),光束由激光頭發(fā)出后進(jìn)入干涉鏡,3-軸干涉鏡把輸入的光束分為三個(gè)部分:
信號(hào)光束1用于位移的測(cè)量,信號(hào)光束2用于俯仰角的測(cè)量,信號(hào)光束三用于偏擺角的測(cè)量。
所有的光束照射到被測(cè)物體(3-軸反射鏡固定在被測(cè)物體上)后再次反射到干涉鏡上,每個(gè)信號(hào)光束與反射的光束進(jìn)行干涉,然后干涉光束傳輸?shù)郊す忸^里,進(jìn)行信號(hào)分析后進(jìn)入到軟件里。
三軸測(cè)量軟件(位移、偏擺和俯仰角)
三角關(guān)系的設(shè)定
測(cè)量結(jié)果的統(tǒng)計(jì)
在位置5開始測(cè)量
位移和角度的完全測(cè)量
ISO230數(shù)據(jù)統(tǒng)計(jì)標(biāo)準(zhǔn)
由本公司代理,德國(guó)耶拿爾
資料
系統(tǒng)應(yīng)用簡(jiǎn)介.pdf