產(chǎn)品品牌：

aerotech

產(chǎn)品型號：

Xa-2H

測量范圍：

進(jìn)口壓力15MPa出口壓力0-0.99 MPa

用途：

其它

結(jié)構(gòu)：

雙級式

適用介質(zhì)：

毒性，腐蝕性，易燃易爆氣體，超高純氣體

環(huán)境溫度：

-10~70 ℃

Xa系列氣體減壓器，主要適用于各種流量輸出，可選擇內(nèi)部電解拋光面，采用硬密封從而減少外漏情況，特別適用于毒性，腐蝕性，易燃易爆氣體以及超高純氣體。減壓器設(shè)計為半導(dǎo)體制造氣體專用減壓器。在嚴(yán)格的工程品質(zhì)管理下，于超凈環(huán)境下制造。外漏率低于：1×10^-11Pa.M³/Sec.He，內(nèi)漏率低于：1×10^-12Pa.M³/Sec.He。