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力/ 壓力傳感器是支撐工業(yè)過程自動(dòng)化的四大傳感器之一。它應(yīng)用廣泛、影響面寬, 不可以測(cè)量力和壓力, 也可用于測(cè)量負(fù)荷、加速度、扭矩、位移、流量等其他物理量, 它們都與機(jī)械應(yīng)力有關(guān), 所以把這類傳感器稱為力學(xué)量傳感器。傳統(tǒng)的測(cè)量力的方法是利用彈性元件的形變和位移來表示的, 其特點(diǎn)是成本低、不需要電源, 但體積大、笨重、輸出為非電量。后來發(fā)現(xiàn)了應(yīng)變計(jì), 特別是隨著電極式水位傳感器電子技術(shù)發(fā)展, 利用半導(dǎo)體材料的壓阻效應(yīng)和彈性與集成電路工藝,研制出了半導(dǎo)體力和壓力傳感器, 使這類傳感器有了長足的進(jìn)步。普遍應(yīng)用的有電阻式、壓電式、電容式、變磁阻式、光纖式等等。近幾年又發(fā)展了聲表面波壓力傳感器、磁致伸縮型壓力傳感器、電位式壓力傳感器等電氣傳感器。而且半導(dǎo)體壓力傳感器正向集成化和智能化方向發(fā)展。因?yàn)椴煌愋偷牧W(xué)量傳感器所涉及的原理、材料、特性及工藝也各不相同,后面我們將介紹幾種應(yīng)用較廣、較典型的力學(xué)量傳感器。