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- 微機(jī)電氣體質(zhì)量流量計(jì)
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- 微機(jī)電氣體質(zhì)量流量計(jì)
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產(chǎn)品概述 微機(jī)電氣體質(zhì)量流量計(jì)采用微機(jī)電系統(tǒng)（MEMS）流量傳感芯片技術(shù)和計(jì)算機(jī)自適應(yīng)技術(shù)，歷經(jīng)多年開發(fā)的
智能化全電子式氣體質(zhì)量流量儀表。主要技術(shù)性能處于國際水平，具有高靈敏度、高、大量程比（100：1）等特點(diǎn)；適用于測(cè)量空氣、氨氣、氧氣、氬氣、二氧化碳、氫氣等介質(zhì)。
針對(duì)工業(yè)環(huán)境，微機(jī)電氣體質(zhì)量流量計(jì)融合了多種抗干擾措施的電磁兼容設(shè)計(jì)，且具有多種信號(hào)輸出，能通過通訊接口實(shí)現(xiàn)網(wǎng)絡(luò)管理功能；本產(chǎn)品在性能、安裝、維護(hù)方面也具有其獨(dú)特的優(yōu)越性，可廣泛應(yīng)用于石油、燃?xì)?、化工、冶煉、能源等各個(gè)領(lǐng)域。
本系列流量計(jì)執(zhí)行標(biāo)準(zhǔn)為：Q/-1.1-2006。參照?qǐng)?zhí)行標(biāo)準(zhǔn)：ISO14511；GB/T20727-2006。 產(chǎn)品特點(diǎn)
采用微機(jī)電系統(tǒng)芯片加工技術(shù)和大規(guī)模集成電路的生產(chǎn)技術(shù)及材料加工技術(shù)，傳感器的尺寸縮小到微米量級(jí)，使流量計(jì)的靈敏度大大提高。在單個(gè)芯片上實(shí)現(xiàn)了多傳感器集成，使流量計(jì)的量程比（范圍度）大大提高。結(jié)合二次儀表的微電腦智能技術(shù)，使流量計(jì)重復(fù)性更好，實(shí)現(xiàn)了計(jì)量準(zhǔn)確可靠。技術(shù)進(jìn)步帶來的結(jié)構(gòu)簡化，使流量較之傳統(tǒng)的機(jī)械式儀表，壓力損失大幅度減小，極大地降低了能源消耗。采用LCD顯示瞬時(shí)流量和累計(jì)流量，清晰直觀，讀書方便。產(chǎn)品融合了電磁兼容設(shè)計(jì)技術(shù)，具有高抗干擾能力。本流量計(jì)帶有RS485通訊模塊，配合上位計(jì)算機(jī)網(wǎng)絡(luò)可實(shí)現(xiàn)集中管理。可以選配4-20mA標(biāo)準(zhǔn)電流信號(hào)輸出。通過國家防爆，標(biāo)志為Ex ia ⅡC T4，可用于易燃易爆氣體 工作原理
微機(jī)電系統(tǒng)（MEMS）芯片傳感技術(shù)，是在硅芯片上集成了具有機(jī)械和電子特性
的微米級(jí)傳感器。它并不是簡單地將機(jī)械和電子功能微縮在芯片上，而是采用了現(xiàn)代
材料制作技術(shù)與大規(guī)模集成電路技術(shù)相結(jié)合獲得新的機(jī)電特性。微機(jī)電系統(tǒng)芯片可實(shí)
現(xiàn)某些宏觀機(jī)電器件所不能達(dá)到的功效。
MF系列質(zhì)量流量計(jì)采用了本公司生產(chǎn)的熱質(zhì)量氣體流量傳感芯片，屬于質(zhì)量流量
傳感方式的流量計(jì)，它是通過氣體流動(dòng)產(chǎn)生的熱場(chǎng)變化來測(cè)量氣體流量的。由于不同
質(zhì)量的氣體對(duì)熱場(chǎng)的變化具有不同的影響，因而，它所測(cè)量的流量為質(zhì)量流量。
不同于傳統(tǒng)的“熱絲”方式采用了多個(gè)熱傳感器及熱源來測(cè)量氣體的質(zhì)量流量（
風(fēng)速式熱質(zhì)量流量原理），微機(jī)電系統(tǒng)芯片熱質(zhì)量流量傳感器采用了多個(gè)熱傳感器和
一個(gè)微熱源（量熱式熱質(zhì)量流量原理），大大減少了環(huán)境對(duì)測(cè)量的影響。微機(jī)電系統(tǒng)
芯片熱質(zhì)量流量傳感器的熱源十分微小，采用插入式在相對(duì)大的流場(chǎng)中，在無氣體流
動(dòng)時(shí)，傳感器的熱源對(duì)環(huán)境無影響，不會(huì)像傳統(tǒng)的熱絲式質(zhì)量流量計(jì)那樣造成氣體的
對(duì)流。因而，微機(jī)電系統(tǒng)芯片熱質(zhì)量流量傳感器具有優(yōu)良的零點(diǎn)穩(wěn)定性和極短的響應(yīng)
時(shí)間。
本流量計(jì)主要由電源模塊、MEMS流量傳感芯片、信號(hào)處理模塊、A/D轉(zhuǎn)換模塊、
EEPROM存儲(chǔ)器、RTC實(shí)時(shí)時(shí)鐘模塊以及顯示模塊組成。 技術(shù)指標(biāo)
范圍度 ＞100：1
±（1.0+0.15FS）%；±（1.5 +0.15FS）%
重復(fù)性 ±0.5% ±0.75%
工作壓力 ＜2.5MPa 2.5～4.0 MPa為定制產(chǎn)品
環(huán)境溫度 -10-55℃
介質(zhì)溫度 -20-60℃
濕度 ＜95%RH
LCD顯示 總量（Nm3），流量（Nm3/h）
供電方式 8-24VCD；110/220VAC（適配器供選）
校準(zhǔn)條件 空氣、20℃；101.325KPa；可根據(jù)用戶要求進(jìn)行實(shí)際介質(zhì)標(biāo)定
材料/機(jī)械連接 不銹鋼；法蘭/NPT/BSPT
數(shù)據(jù)存儲(chǔ) 可自動(dòng)存儲(chǔ)數(shù)據(jù)
輸出（選項(xiàng)） RS485；4-20mA；脈沖
用戶控制（選項(xiàng)） 用戶界面軟件
防護(hù)等級(jí) IP65
防爆等級(jí) Ex ia ⅡC T4
博利恒儀表產(chǎn)品目錄 流量儀表 智能電磁流量計(jì) 微機(jī)電氣體質(zhì)量流量計(jì) 智能渦街流量傳感器 V錐形流量傳感器 智能超聲波流量計(jì) 智能積算儀 過程校驗(yàn)儀 壓力/差壓/液位變送器 智能差壓變送器 BLH3351/3051/DP/GP智能遠(yuǎn)傳壓力/差壓變送器 BLH3051X-LT智能高單法蘭液位變送器 BLH3051X-GP/DP高智能單、雙遠(yuǎn)傳壓力差壓變送器 BLH801擴(kuò)散硅壓力變送器 BLH3351/3051/LT智能單法蘭液位變送器 BLH3351/3051/GP/DP智能表壓力/差壓變送器 BLH1151GP/DP遠(yuǎn)傳壓力/差壓變送器 BLH1151LT單平法蘭液壓變送器 BLH603系列高溫高壓液位變送器 BLH604-5鍋爐分體式/內(nèi)插式變送器 BLH606系列油位變送器 BLH607衛(wèi)生型液位變送器 BLH601-2系列電容式液位變送器 BLH804小巧型壓力變送器 BLH803投入式液位變送器 BLH802桿式液位變送器 微機(jī)PLC全自動(dòng)配料控制系統(tǒng) DCS過程控制系統(tǒng)（或PLC+監(jiān)控軟件）
