- 產(chǎn)品品牌:
- sevenstar
- 產(chǎn)品型號(hào):
- D07-7K
D07-7K型 氣體質(zhì)量流量控制器 高性能價(jià)格比、普通型產(chǎn)品 橡膠密封、模擬電路的MFC 7A型的更新?lián)Q代型 管狀分流,使用壽命長(zhǎng) 用途: 質(zhì)量流量控制器(MFC)用于對(duì)氣體的質(zhì)量流量進(jìn)行精 密地測(cè)量和控制。廣泛用于電子工藝設(shè)備、真空鍍膜、石油化工、冶金、制藥、光纖熔煉、分析測(cè)量?jī)x器、制 氣配氣等行業(yè)。 標(biāo)準(zhǔn): 氣體質(zhì)量流量用氮?dú)?FONT face=宋體>(N2)標(biāo)定。標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)規(guī)定為: 標(biāo)準(zhǔn)溫度………………0℃(273.15K) 標(biāo)準(zhǔn)壓強(qiáng)………………101325Pa 輸入和輸出: 輸入電源………………+15V,50mA,-15V,200mA 輸入設(shè)定電壓…………0~+5.00V 輸出電壓檢測(cè)…………0~+5.00V 技術(shù)性能指標(biāo)
滿量程流量范圍(N2) | 5SCCM~10SLM | |
控制范圍 | 2~100%F.S. | |
閥類型(及閥初始狀態(tài)) | 電磁調(diào)節(jié)閥(常閉) | |
準(zhǔn)確度 | ±1%F.S. | |
線性 | ±0.5~1%F.S. | |
重復(fù) | ±0.2%F.S. | |
響應(yīng)時(shí)間 | ≤2sec | |
工作溫度范圍 | 5~45℃ | |
工作壓差 | 0.1~0.5MPa | |
耐壓 | 3MPa | |
漏氣率 | 1×10-8atm.cc/sec He | |
密封材料 | 氟橡膠、氯丁橡膠 | |
電插頭形式 | DB15 pin(Female) | |
接頭選擇 | VCR | 1/4”或φ4hose、φ3hose |
Swagelok | 1/4”或φ6、φ3 | |
溫度系數(shù) | Zero:≤±0.1%F.S./℃ Span:≤±0.2%F.S./℃ | |
重量 | 1.1Kg |