產(chǎn)品簡(jiǎn)介：
FS5001小流量氣體質(zhì)量流量傳感器是專門為各類小流量氣體的測(cè)量和過程控制而設(shè)計(jì)的。這一系列傳感器均采用本公司自主研發(fā)的微機(jī)電系統(tǒng)（MEMS）流量傳感芯片來制作，適用于各類清潔、干燥氣體。獨(dú)特的封裝技術(shù)使之在相同的管徑下可測(cè)量不同范圍的流量，成本低、易安裝、不需要溫度壓力補(bǔ)償，可替代容積式或壓差式的傳統(tǒng)流量傳感器并配以多種信號(hào)輸出，通過通訊接口可實(shí)現(xiàn)對(duì)傳感器的靈活配置與參數(shù)查詢。
產(chǎn)品特點(diǎn)：
- 傳感器靈敏度高，有極小的始動(dòng)流量
- 傳感器芯片采用熱質(zhì)量流量計(jì)量，無需溫度壓力補(bǔ)償，保證了傳感器的高計(jì)量
- 在單個(gè)芯片上實(shí)現(xiàn)了多傳感器集成，使其量程比達(dá)到了100:1甚至更高
- 貼壁式安裝，無直管段要求，易于安裝與使用
- 輸出方式靈活，既可通過通訊接口主動(dòng)上傳數(shù)據(jù)(RS232)或由上位機(jī)查詢輸出數(shù)據(jù)(RS232 / I2C)，也可通過模擬接口輸出線性的模擬電壓
- 零點(diǎn)穩(wěn)定度高
- 全量程高穩(wěn)定性、高度和優(yōu)良的重復(fù)性
- 低功耗、低壓損
- 響應(yīng)速度快
機(jī)械尺寸：
技術(shù)參數(shù)：
| FS5001 | ||
|
量程范圍 |
0～20,50,200,500,1000,或根據(jù)客戶需求定制 | sccm |
| 量程比 | >100：1 | |
| ±（1.5±0.2FS） | % | |
| 重復(fù)性 | ±0.75 | % |
| 零點(diǎn)輸出飄逸 | ±30 | mV |
| 輸出飄逸 | 0.16 | %/oc |
| 響應(yīng)時(shí)間 | 100（默認(rèn)，50，100，200，500，100設(shè)置） | ms |
| 工作電源 | 8~18Vdc,50mA | |
| 輸出方式 | RS232,I2C,模擬電壓0.5~4.5Vdc | |
| 流量壓損 | 900 | Pa |
| 流量壓力 | 0.8 | MPa |
| 工作溫度 | -5~+45 | oC |
| 存儲(chǔ)溫度 | -20~+55 | oC |
| 工作濕度 | <95%RH(無結(jié)冰、無凝露) | |
| 機(jī)械接口 | M,Rc,NPT,4mm,6mm快速接頭（配轉(zhuǎn)接模塊） | |
| 校準(zhǔn)方式 | 空氣（或其他氣體），20oC,101.325kPa | |
| 重量 | 17.5 | g |
