- 品牌/商標(biāo)：藤倉(cāng)超精密減壓閥RS系列
特長(zhǎng)規(guī)格型號(hào)表示方法特形外觀尺寸圖
壓力控制方式是因?yàn)椴捎脻L動(dòng)膜片與計(jì)量膜合的伺服平衡方式，可以實(shí)現(xiàn)無塵室對(duì)應(yīng)的精密的壓力調(diào)整的超精密減壓閥。
- 無塵規(guī)格
- 因?yàn)椴科肥遣讳P鋼及氟橡膠，其他的部品全部為非電解鍍鎳處理，產(chǎn)生的雜質(zhì)非常少。
- 歧管安裝對(duì)應(yīng)
- 歧管連接配管可能。
- 排氣口裝備
- 因?yàn)榕艢饪祝缌骺?，可以連接排氣用配管；排氣空氣及溢流空氣都可以排到無塵室以外。
- 高
- 可以實(shí)現(xiàn)感度0.1%F.S.,反復(fù)再現(xiàn)性±0.1%F.S.的高控制。
- 緩沖裝置
- 平衡裝置
- 推壓控制(1)
- 推壓控制(2)
- 接合裝置
- 張力控制裝置
| RS-4 | RS-8 | |
| 使用流體 | 清潔壓縮空氣 | |
| 壓力設(shè)定范圍 (MPa) | 0.014～0.42 | 0.014～0.84 |
| 進(jìn)口壓力設(shè)定范圍 (MPa) | 1. Max. | |
| 排氣的有無 | 有 | |
| 反復(fù)再現(xiàn)性 (％.F.S) | ±0.1以內(nèi) | |
| 感度 (％.F.S) | 0.1以內(nèi) | |
| 空氣消費(fèi)量 (Nl/min) | 3.7以內(nèi) | |
| 使用溫度范圍 (℃) | 5～60 | |
| 配管連接口徑 | Rc 1/4、歧管型 | |
| 壓力表連接口徑 (Rc(PT)) | 1/4 | |
| 支架 | 標(biāo)準(zhǔn)配置(歧管型以外) | |
| 質(zhì)量 (kg) | 0.41 | |
