高純水,電瓶高純水,工業(yè)高純水,工廠高純水,制藥高純水
高純水的級(jí)別 
4．1高純水可分為電子級(jí)高純水和普通高純水，分別用符號(hào)EH和pH標(biāo)志。
4. 2電子級(jí)高純水
4．2．1在制造工藝中使用電子級(jí)高純水的電力半導(dǎo)體器件有如下特點(diǎn)：
a．具有精細(xì)圖形結(jié)構(gòu)；
b．對(duì)器件表面有特殊要求；
c．工藝對(duì)水質(zhì)有特定的嚴(yán)格要求。
4．2．2電子級(jí)高純水分為兩個(gè)級(jí)別：特級(jí)和I級(jí)。它們的標(biāo)志分別是：
特級(jí)電子級(jí)高純水：EH—T
電子級(jí)高純水：EH—1
4．3普通高純水
4．3．1普通高純水用于一般電力半導(dǎo)體器件的制造工藝中。
4．3．2普雙高純水分為三個(gè)級(jí)別：Ⅰ級(jí)、Ⅱ級(jí)和Ⅲ級(jí)。它們的標(biāo)志分別是：
I級(jí)普通高純水：pH—Ⅰ
x級(jí)普通高純水：PH—Ⅱ
m級(jí)普通高純水：pH—Ⅲ
4. 4電阻率低于5MΩ·cm的水不能稱(chēng)為高純水。

5技術(shù)要求
5．1電子級(jí)高純水
5．1．1電子級(jí)高純水應(yīng)考核四項(xiàng)內(nèi)容：
a. 水中自由離子濃度(主要影響電阻率)；
b．水中懸浮微粒的數(shù)量和大??；
C. 水中有機(jī)物總量；
d. 水中細(xì)菌微生物狀況。
5. 1. 2電子級(jí)高純水的各項(xiàng)技術(shù)指標(biāo)由表1給出。


表l 
指 　　　標(biāo)  級(jí)別  
EH— T  EH-I 
電阻率，MΩ·cm(25℃)  18 (90％時(shí)間）
小17 16~18 (90％時(shí)間）
小15 
大于1μm微粒數(shù).個(gè)／mL ＜1 1 
 大于0．5um微被數(shù)
(值)，個(gè)／mL 100  150 
 細(xì)菌個(gè)數(shù)，個(gè)／mL  ＜1  1 
 總有機(jī)碳含量(值)，μg／L 50 100 
全硅(值)，μg／L 2 10 
氯含量(值)，μg／L  0.5 2 
鉀含量(值)，μg／L  0.2 1 
鈉含量(顯大值)μg／L 0.2 1 
鈣含量(值)，μg／L 0.5 1 
鋁含量(值)，μg／L 0.5 1 
銅含量(值)，μg／L 0.1 1 
總可溶性固體含量(值)，μg／L  3 10