曝光機(jī)
型號(hào)URE-2000/25型
產(chǎn)品介紹曝光機(jī)又名紫外光刻機(jī)（英文名：Mask Aligener) 
技術(shù)特征
設(shè)備技術(shù)性能優(yōu)越表現(xiàn)在
1．采用技術(shù)——積木錯(cuò)位蠅眼透鏡消衍射，實(shí)用分辨力可達(dá)1.0-1.2微米；
2．精密對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng)先進(jìn)——采用精密雙側(cè)V型滾動(dòng)導(dǎo)軌、精密對(duì)準(zhǔn)調(diào)節(jié)手輪、大倍率顯微鏡，消除曝光間隙采用精密密排鋼球軸系導(dǎo)向，對(duì)準(zhǔn)漂移非常小，對(duì)準(zhǔn)可達(dá)0.8微米；3．積木錯(cuò)位蠅眼透鏡（79個(gè)）。照明聚光角小(光源平行性好)，照明均勻性好，照明面積為100mmX100mm(根據(jù)用戶需要可改為150mmX150mm,國(guó)內(nèi)同類面積一般為f100mm或更低);照明均勻性在f100范圍優(yōu)于±4%（國(guó)內(nèi)同類一般低于±5%）；
4．光源質(zhì)量好——保證曝光圖形方、陡、直。通過(guò)光學(xué)設(shè)計(jì)、光學(xué)鍍膜，曝光成分為純凈的365nm，紅外和可見(jiàn)成分被徹底過(guò)濾，曝光面為冷光（在環(huán)境溫度為22度，曝光面溫度不超過(guò)30度），肉眼觀察為暗藍(lán)紫光，紫外探測(cè)能量很高；國(guó)內(nèi)同類由于采用常規(guī)玻璃并由于不掌握特殊紫外鍍膜技術(shù)曝光面為熱光（在環(huán)境溫度為22度，曝光面溫度超過(guò)30度），且紫外比重很小，肉眼觀察為白光，紫外探測(cè)能量很低；
5．可靠性很高。關(guān)鍵器件采用進(jìn)口件，如氣動(dòng)元件主要采用日本SMC，汞燈采用德國(guó)歐斯朗；  
6．工藝適應(yīng)性好，可適應(yīng)的片子范圍可達(dá)f10-f100mm的各種規(guī)則和不規(guī)則片,厚度可適應(yīng)0.1mm—6mm（0.1mm—15mm）。掩?？蛇m應(yīng)2.5英寸、3英寸、4英寸、5英寸，厚度可適應(yīng)1mm-8mm；  
7．光功率強(qiáng)，照明面積為100mmX100mm，曝光（純365nm）光功率可達(dá)到20mW,而曝光面溫度小于30度。而國(guó)內(nèi)同類一般在f100mm曝光面積一般在15mW以下，而曝光面溫度大于30度；
8．技術(shù)接口配套，操作方便。高倍率雙目雙視場(chǎng)顯微鏡和22英寸寬屏液晶顯示同時(shí)觀察對(duì)準(zhǔn)過(guò)程，并可提供USB輸出；既滿足高對(duì)準(zhǔn)，又可用于檢測(cè)曝光結(jié)果，且曝光結(jié)果方便存儲(chǔ)；
9.曝光時(shí)間可任意設(shè)定。曝光快門控制可以單獨(dú)開(kāi)啟，也可以數(shù)字設(shè)定自動(dòng)倒計(jì)時(shí)曝光（設(shè)定范圍0.1s-9999s）；
10.長(zhǎng)壽命汞燈。采用350W進(jìn)口（德國(guó)）直流汞燈，可調(diào)節(jié)光的能量密度；
11.設(shè)備外形美觀，性能非?？煽?。設(shè)備較于國(guó)內(nèi)同類產(chǎn)品具有較明顯優(yōu)勢(shì)。

 二、設(shè)備技術(shù)指標(biāo)先進(jìn)
主要技術(shù)參數(shù)
1.曝光面積：100mm×100mm（或150 mm×150mm）；
2.分辨力：≤1.2mm（膠厚2mm的正膠）；
3.對(duì)準(zhǔn)：±0.8mm；
4.掩模樣片整體運(yùn)動(dòng)范圍：X：6mm;Y:6mm；
5.掩模尺寸：2.5英寸、3英寸、4英寸、5英寸；
6.樣片尺寸:直徑f15mm--f100mm(可適應(yīng)非標(biāo)準(zhǔn)片或碎片)、              厚度0.1mm--6mm(可擴(kuò)展為15mm)；
7.照明均勻性：≤±4%（f100mm范圍）；
8.掩模相對(duì)于樣片運(yùn)動(dòng)行程：X:±5mm;  Y:±5mm; q: ±6度；
9.汞燈功率：350W（直流）；曝光波長(zhǎng)：365nm； 10.曝光能量密度：18-20 mW/cm
11.曝光方式：定時(shí)（倒計(jì)時(shí)方式0.1s—9999s）。