- 產(chǎn)品品牌：
- LINE TECH
- 產(chǎn)品型號：
- M3030V/A
- 測量范圍：
- 1 m3/h
- 等級：
- +/-1%
- 公稱通徑：
- 6 mm
- 適用介質(zhì)：
- 氣體
- 工作壓力：
- 10 MPa
- 工作溫度：
- 0-50 ℃
氣體質(zhì)量流量控制器 ( Mass Flow Controller簡稱MFC ) & 氣體質(zhì)量流量計( Mass Flow Meter簡稱MFM ) 能夠在較大的量程范圍內(nèi)對氣體的質(zhì)量流量進行高測量和控制。 應用領域： 真空鍍膜設備 , 光電產(chǎn)業(yè)到工業(yè)用工具的表面鍍膜Sputter磁控濺射臺, PVD, CVD , MOCVD, 氧化 , 等離子刻蝕 , 離子注入直拉式晶爐，精密的半導體產(chǎn) ,燃料電池,氣調(diào)儲存保鮮相關設備,胞培養(yǎng)發(fā)酵罐設備精密氣體混合分析，熔煉設備器件滲漏偵查, 高壓相關產(chǎn)業(yè)反應裝置，生物反應器，生物過程控制器乳酸生產(chǎn)成套發(fā)酵系統(tǒng)設備醫(yī)療設備等等涉及到人工 電子或是電腦控制的氣體相關作業(yè)。
