MP100-FPD的薄膜測(cè)量系統(tǒng)標(biāo)配一個(gè)非常大的470 X 370毫米XY平臺(tái)，其目的是產(chǎn)生一個(gè)3D圖形顯示厚度分布。使用two point 定位功能，它可以迅速找到測(cè)量點(diǎn). MP100-FPD提供高科技的特性來衡量測(cè)量LCD上填充的間隔，polyemide在ITO上，彩色濾光片的CIE色度，和彩色濾光片厚度。  MP100-FPD也能夠測(cè)量氧化物，氮化物，光阻和多晶硅片。強(qiáng)大的軟件算法可以解單層，雙層，三層和四層厚度計(jì)算。還有特殊的搜索和Algorithm，迅速搜索的計(jì)算和的厚度測(cè)量工具。

    MP100-FPDUSB譜儀使用多個(gè)光柵實(shí)現(xiàn)寬光譜范圍從紫外到近紅外。該光譜儀通過USB電纜和光纖光纜連接顯微鏡到筆記本電腦。從顯微鏡連接光纜可以使系統(tǒng)結(jié)構(gòu)輕巧。顯微鏡獨(dú)特的視屏顯示附件提供了一個(gè)符合人體工程學(xué)的觀測(cè)樣品的方法，從而消除了繁瑣的通過傳統(tǒng)的顯微鏡觀測(cè)樣品的操作。

    MP100-FPD的界面分為四個(gè)相限，測(cè)量，設(shè)置參數(shù)，光譜顯示，厚度結(jié)果條形圖及厚度結(jié)果數(shù)據(jù)表。這充分說明了界面提供即時(shí)數(shù)據(jù)回報(bào)。主要MPO軟件也采用了與微軟Office?，它允許在MS Excel?格式的測(cè)量數(shù)據(jù)，并存儲(chǔ)在一個(gè)MS Access?數(shù)據(jù)庫供將來參考。這種軟件的，允許您獲得快速和容易的測(cè)量。