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采用i線紫外曝光光源，光學系統(tǒng)采用特殊的消衍射和線條陡直增強技術，采用積木錯位繩眼透鏡實現(xiàn)高均勻照明，并配備了雙目雙視顯微鏡和CCD圖象對準系統(tǒng)（可同時使用），曝光能量高，聚光角度小，突具厚膠曝光功能，曝光設定采用微機控制，菜單界面友好，操作簡便。
技術參數(shù)：
曝光面積：110mm×110mm
分辨力：0.8～1μm（膠厚1.5μm的正膠）
對準：±0.6μm
膠厚：600μm（SU8膠）
掩模尺寸:2.5inch、3inch、4inch、5inch
樣片尺寸：直徑Ф15mm-Ф100mm、厚度0.1mm-6mm
照明均勻性：±3.5%Ф100mm)；±5.5%(Ф150mm)
汞燈功率：1000W（直流）
掩模相對于樣片運動行程：X: ±5mm; Y: ±5mm; θ: ±6°
外形尺寸：1400mm*1200mm*1850mm
