ALIO 是超高性能六自由度并聯(lián)運動平臺的世界供應(yīng)商，與傳統(tǒng)的多軸串聯(lián)運動平臺相比，多軸并聯(lián)平臺具有更多明顯的優(yōu)點，比如更低的運動慣量、更高的動態(tài)性能、更小的體積和更高的結(jié)構(gòu)剛性。ALIO 開創(chuàng)性的三自由度并聯(lián)運動平臺TRIPOD 和六自由度并聯(lián)運動平臺HEXAPOD 更是憑借優(yōu)異的性能成為六自由度運動平臺的行業(yè)標(biāo)桿（美國： 和）。多自由度并聯(lián)運動平臺正因其靈活的自由度和亞微米（甚至納米）級別的，成為各種不同復(fù)雜定位應(yīng)用的客戶，比如光電加工領(lǐng)域的微操作系統(tǒng)和微裝配系統(tǒng)，精密加工領(lǐng)域的工件承載，醫(yī)療領(lǐng)域的檢測系統(tǒng)，也可用于天文望遠(yuǎn)鏡的光學(xué)系統(tǒng)，衛(wèi)星天線發(fā)射/接受系統(tǒng)（如下圖即為ALIO 為美國空軍設(shè)計的衛(wèi)星定位系統(tǒng)）。ALIO 的多軸并聯(lián)運動平臺基于兩種不同的動力進行驅(qū)動，采用壓電馬達(dá)驅(qū)動的多軸平臺能夠勝任在各種真空、強磁、失重等環(huán)境，且壓電馬達(dá)自身的斷電自鎖能夠保證設(shè)備在非工作狀態(tài)時依然能夠保持較為穩(wěn)定的位置形態(tài)。采用直線電機驅(qū)動的多軸平臺則具備更為優(yōu)異的運動特性，高速、高、適合工況條件長時間大負(fù)荷操作。全樹脂封閉的直線電機線圈甚至能夠?qū)崿F(xiàn)在水下環(huán)境的工作。全系列多軸并聯(lián)平臺皆配備了納米級別的光柵反饋系統(tǒng)及運動控制系統(tǒng)，能夠適應(yīng)工業(yè)化簡單、快捷、穩(wěn)定的上手操作要求。在六自由度并聯(lián)運動平臺中，用戶只需要簡單的輸入笛卡爾坐標(biāo)軸的各自的位置數(shù)據(jù)，運動控制系統(tǒng)就能夠根據(jù)該目標(biāo)位置進行復(fù)雜的算法計算，進而控制每一軸的高位移，使得用戶指定的目標(biāo)位置能夠性平滑到位。應(yīng)用領(lǐng)域光電封裝和對準(zhǔn)微機械和微加工醫(yī)療技術(shù)半導(dǎo)體工藝數(shù)據(jù)存儲設(shè)備測試激光技術(shù)和光電技術(shù)細(xì)胞微操作生物科技微裝配航空衛(wèi)星定位系統(tǒng)6D ALIO HYBRID HEXAPOD 規(guī)格參數(shù)（如需其他型號資料請來電或郵件索取）XY 軸行程1 ±50mm 至±150mmZ 軸行程2 ±3mm 至±53mmθX,θY 行程3 ±3°至±17.5°θZ 行程360°驅(qū)動器行程 4 6mm 至106mm驅(qū)動器分辨率5nm,標(biāo)準(zhǔn)X 軸小步長20nm 至50nmY 軸小步長20nm 至50nmZ 軸小步長20nm 至50nmX 軸重復(fù)定位<<100nmY 軸重復(fù)定位<<100nmZ 軸重復(fù)定位<<100nmθX,θY,θZ 小步長~1uradθX,θY,θZ 重復(fù)定位<±2urad小速度um/s速度200mm/s有效負(fù)載5 2kg 至10kg（采用氣缸平衡配重）馬達(dá)/驅(qū)動類型直線電機及轉(zhuǎn)矩馬達(dá)直驅(qū)反饋 標(biāo)準(zhǔn)光柵反饋光柵零位及限位支持 支持回程間隙 無遲滯 無正向/反向運動支持速度控制 支持運動軌跡控制 支持運動控制器 高/超高G 代碼可選軟件界面/接口C++,VB,LabVIEW*產(chǎn)品的性能依賴于應(yīng)用，ALIO 提供基于基本性能特征及有效負(fù)載下的咨詢1、2、3、4 更大的行程要求請直接咨詢廠商5 更大的負(fù)載要求請直接咨詢廠商使用環(huán)境：實驗室、無塵室、真空環(huán)境使用（具體細(xì)節(jié)請咨詢廠商）環(huán)境溫度: 0 – 50°C保存溫度: -40°C - +70°C濕度: 0 – 80% 無結(jié)露