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PlasCalc系列等離子體監(jiān)控器
測量用等離子體的發(fā)射可在僅3毫秒內(nèi)達(dá)到200～1100nm的波長。PlasCals系列監(jiān)控器為數(shù)據(jù)的獲取提供過程控制和精密的數(shù)據(jù)運(yùn)算。
功能特點(diǎn)
1.0nm（半值全波）光學(xué)解析度
200～1100nm波長范圍
快速建立和保存實(shí)驗(yàn)方法
調(diào)制步驟編輯
調(diào)制步驟編輯工具可以使用戶簡單、快速地設(shè)置、建立和保存實(shí)驗(yàn)方法。利用該工具可以對多數(shù)復(fù)雜的等離子體過程建立簡便而有效的步驟設(shè)置：例如測量薄膜沉積情況、監(jiān)測等離子蝕刻、檢查表面清潔處理、分析等離子室健康控制情況、監(jiān)測反常的污染和排放現(xiàn)象等。
用于簡單的等離子體診斷的多重工具
PlasCalc型監(jiān)控器配有操作軟件，所提供的完整的公式編輯器可以進(jìn)行所有需要的數(shù)學(xué)和算法功能。我們同時提供一個可選配的放射波長數(shù)據(jù)庫，可以另外單獨(dú)購買，它能夠提供種類的鑒定；而波長編輯器則使用戶完成信噪比的優(yōu)化。操作界面包含兩個窗口，可以同時顯示真實(shí)的光譜和所有控制過程信息。
PlasCalc型監(jiān)控器的規(guī)格
光譜范圍
200～1100nm
光學(xué)解析度
1.0nm（半值全波）
數(shù)字/模擬轉(zhuǎn)換器
14 bit
數(shù)字輸入/輸出
8 x TTL
模擬輸出
4 x [0-10V]
連接方式
USB 1.1
USB 1.1
電力消耗
12V直流電，1.25A
電力需求
90～240V交流電，50/60Hz
尺寸
257 mm x 152 mm x 263 mm
重量
5 kg
產(chǎn)品展示 >> 光電測量產(chǎn)品 >> 光譜系統(tǒng) 共有 35 個產(chǎn)品
產(chǎn)品名稱： PlasCalc系列等離子體監(jiān)控器
產(chǎn)品類別： 光電測量產(chǎn)品 → 光譜系統(tǒng)
產(chǎn)品編號：516
產(chǎn)品信息：
產(chǎn)品名稱： LIBS-ELITE綜合激光誘導(dǎo)衰減光譜儀平臺
產(chǎn)品類別： 光電測量產(chǎn)品 → 光譜系統(tǒng)
產(chǎn)品編號：616
產(chǎn)品信息：
產(chǎn)品名稱： LIBS2500激光誘導(dǎo)衰減光譜儀
產(chǎn)品類別： 光電測量產(chǎn)品 → 光譜系統(tǒng)
產(chǎn)品編號：416
產(chǎn)品信息：
產(chǎn)品名稱： 高光學(xué)密度透射系統(tǒng)
產(chǎn)品類別： 光電測量產(chǎn)品 → 光譜系統(tǒng)
產(chǎn)品編號：16
產(chǎn)品信息：
產(chǎn)品名稱： 光纖光損耗光譜測量系統(tǒng)
產(chǎn)品類別： 光電測量產(chǎn)品 → 光譜系統(tǒng)
產(chǎn)品編號：16
產(chǎn)品信息：
產(chǎn)品名稱： 光致變色透鏡測量系統(tǒng)
產(chǎn)品類別： 光電測量產(chǎn)品 → 光譜系統(tǒng)
產(chǎn)品編號：16
產(chǎn)品信息：
產(chǎn)品名稱： 透射/反射角度測量系統(tǒng)
產(chǎn)品類別： 光電測量產(chǎn)品 → 光譜系統(tǒng)
產(chǎn)品編號：16
產(chǎn)品信息：
產(chǎn)品名稱： 組合型分光光度計(jì)
產(chǎn)品類別： 光電測量產(chǎn)品 → 光譜系統(tǒng)
產(chǎn)品編號：16
產(chǎn)品信息：
產(chǎn)品名稱： 高亮度紫外系統(tǒng)
產(chǎn)品類別： 光電測量產(chǎn)品 → 光譜系統(tǒng)
產(chǎn)品編號：16
產(chǎn)品信息：
產(chǎn)品名稱： 多波段分光光度計(jì)
產(chǎn)品類別： 光電測量產(chǎn)品 → 光譜系統(tǒng)
產(chǎn)品編號：16
產(chǎn)品信息：
