- 品牌/商標(biāo)：羲和
XH-MP150A設(shè)備是增強(qiáng)型手動(dòng)分析探針臺(tái)，用于為各種半導(dǎo)體芯片、微波器件等提供一個(gè)光、電參數(shù)測(cè)試、分析的平臺(tái)，可吸附多種規(guī)格的圓片及芯片，并提供可調(diào)測(cè)試針及探卡測(cè)試針座。適用于大學(xué)、實(shí)驗(yàn)室、大生產(chǎn)線對(duì)芯片進(jìn)行科研分析、抽查測(cè)試等用途。設(shè)備可代替美國(guó)CASCADE公司的EPS150系列的手動(dòng)探針臺(tái)。
技術(shù)參數(shù)：
項(xiàng) 目 | 性能指標(biāo) | ||
可測(cè)圓片尺寸 | 2″、3″、4″、6″ | ||
工作臺(tái) | 行程 | ||
結(jié)構(gòu) | 精密高剛性直線導(dǎo)軌，滾珠絲杠 | ||
分辨率 | 0.001mm-0.01mm（根據(jù)需求絲桿導(dǎo)程可選） | ||
操作方式 | 手輪 | ||
承片臺(tái)Z向 | 接觸/分離 | 行程 | |
承片臺(tái)θ向 | 微調(diào)范圍 | ±15 o | |
針座平臺(tái) （可選） | 升、降行程 | 25mm | |
接觸/分離 | 0.66mm | ||
吸片盤 | 吸片方式 | 真空吸附 | |
分檔 | （2″、3″）、4″、6″單獨(dú)真空吸附，三檔可選 | ||
上、下片方式（可選） | 快速抽屜式上、下片 | ||
顯微鏡及配件 | 立柱式支架 | 前、后，上、下、旋轉(zhuǎn)，仰角四維可調(diào) | |
微調(diào)支架 （可選） | X方向120mm，Y方向60mm，手輪調(diào)節(jié) | ||
顯微鏡 | 雙目體視顯微鏡45X | ||
照明燈 | LED環(huán)形燈 | ||
相關(guān)配件 | 打點(diǎn)器 | 可調(diào)三維座，驅(qū)動(dòng)DC24V | |
測(cè)試探針 | 高彈性鎢針 | ||
三維針座 | 磁性吸附式，可調(diào)范圍：x: ± z: ± | ||
外形尺寸 | |||
設(shè)備重量 | 約30 KG | ||
使用環(huán)境 | 電源 | AC 220V±22V 50Hz±1Hz | |
功率 | 0.05kW | ||
真空 | -80 KPa | ||
環(huán)境溫度 | 15oC-30oC | ||
相對(duì)濕度 | ＜60% | ||
