- 產(chǎn)品品牌:
- INFICON
- 產(chǎn)品型號(hào):
- HPG400
INFICON公司生產(chǎn)的HPG400型高壓強(qiáng)熱電離皮拉尼真空計(jì)將高壓強(qiáng)熱電離與皮拉尼規(guī)管綜合在一個(gè)小型、輕便與經(jīng)濟(jì)的規(guī)管中,測(cè)量壓強(qiáng)從2×10-6至1000毫巴(1.5×10-6至750乇)。HPG400提供高度的重復(fù)性
和再現(xiàn)性壓強(qiáng)測(cè)量,用于的濺射過(guò)程的壓強(qiáng)控制。
HPG400皮拉尼真空計(jì)詳細(xì)資料
優(yōu)點(diǎn):
極寬的測(cè)量范圍從5x10-10毫巴至大氣壓(3.8x10-10乇至大氣壓)
極好的重復(fù)性,過(guò)程壓強(qiáng)范圍10-8 … 10-2毫巴均為5%
皮拉尼連鎖保護(hù)燈絲,防止過(guò)早燒毀
雙敷涂釔的氧化銥長(zhǎng)壽命燈絲
可選圖形顯示和現(xiàn)場(chǎng)總線接口
自動(dòng)高真空皮拉尼調(diào)整,減少操作人員的干預(yù)
容易更換具有在機(jī)校準(zhǔn)的傳感元件,保證高度重復(fù)性
應(yīng)用:
半導(dǎo)體工藝和輸送室中的壓強(qiáng)測(cè)量
工業(yè)鍍膜
一般真空測(cè)量和控制,從低至超高真空范圍
訂 購(gòu) 資 料
型號(hào) |
HPG400 Without LCD display |
HPG400 With LCD display |
HPG400-SP With Profibus DP1) |
HPG400-SD With DeviceNet1) |
DN 25ISO-KF |
353-520 |
353-521 |
353-525 |
353-527 |
DN 40CF-R |
353-522 |
353-523 |
353-526 |
353-528 |
更換傳感器25ISO-KF |
354-487 |
354-487 |
354-487 |
354-487 |
更換傳感器40CF-R |
354-488 |
354-488 |
354-488 |
354-488 |