| 1. | 強(qiáng)大的電子光學(xué)系統(tǒng)，簡(jiǎn)單操作 |
| | Ⅰ | 新設(shè)計(jì)的超級(jí)圓錐型物鏡，保證3nm的分辨率。很容易得到高質(zhì)量照片。 |
| Ⅱ | 廣域掃描線圈可以得到5倍的放大倍數(shù)從而提高觀察樣品的效率。 |
| Ⅲ | 的電子光學(xué)系統(tǒng)可以在大束流下形成小束斑，有利于微區(qū)分析。 |
| 2. | 高分辨率 |
| | Ⅰ | JSM6510系列超級(jí)圓錐形物鏡，在工作距離8mm時(shí)的分辨率為3nm，超級(jí)圓錐形物鏡 |
| 2 | 的外形設(shè)計(jì)可以做到短工作距離情況下樣品仍然可以大角度傾斜。 |
| 3. | 全自動(dòng)電子槍 |
| 2 | Ⅰ | JEOL開發(fā)的全自動(dòng)電子槍能夠產(chǎn)生極小電子束源，只要選擇好加速電壓，就可以進(jìn) |
| 行觀察或成分分析。 |
| Ⅱ | 電子槍偏壓是調(diào)節(jié)電子槍亮度的重要部件。JEOL的無縫自給加壓系統(tǒng)能隨著電壓變 |
| 化隨時(shí)調(diào)整偏壓，使得無論選擇哪個(gè)加速電壓，都能得到亮度。 |
| Ⅲ | JEOL獨(dú)有的像散記憶功能能夠自動(dòng)糾正隨加速電壓或工作距離改變而產(chǎn)生的像散。 |
| | | |
| 1KV | 5KV |
| |
| 10KV | 20KV |
| 4. | 多圖顯示模式 |
| 3 | Ⅰ | 主顯示區(qū)可以同時(shí)顯示兩幅實(shí)時(shí)圖像，分別為二次電子像和背散射電子像，參考區(qū) |
| 也可顯示２幅實(shí)時(shí)圖像，例如二次電子圖像，背散射電子圖像或ＣＣＤ相機(jī)圖像。 |
| Ⅱ | 雙實(shí)時(shí)顯示模式可以用于不同信號(hào)圖像的對(duì)比，用戶可在觀察表面形貌的同時(shí)了解 |
| 樣品的成份分布情況。 |
| Ⅲ | 選用多種圖像顯示模式時(shí)，點(diǎn)擊"PHOTO"按紐可同時(shí)獲得并存儲(chǔ)2或3幅全屏尺度圖像。 |
| 5. | 簡(jiǎn)單易懂的操作接口及菜單 |
| | Ⅰ | 操作接口簡(jiǎn)單，直觀，默認(rèn)的操作接口顯示了常用的功能按鈕，并以簡(jiǎn)單圖文標(biāo) |
| 明，點(diǎn)擊鼠標(biāo)即可操作所有功能。 |
| Ⅱ | 實(shí)時(shí)量測(cè)，圖片上的長(zhǎng)度和角度等結(jié)構(gòu)細(xì)節(jié)能在顯示器上進(jìn)行測(cè)量。 |
| 6. | 可變焦聚光鏡修正 |
| | Ⅰ | 做表面觀察和元素分析等不同應(yīng)用時(shí)，選擇合適束流非常重要，一般是通過聚光鏡 |
| 與物鏡光闌來控制電子束流的。如果在調(diào)整束流過程中，焦點(diǎn)和觀察區(qū)域位移變化 |
| 很小，調(diào)整起來會(huì)比較方便。JEOL獨(dú)有的可變焦聚光鏡可以保證這一點(diǎn)。 |
| | | |
| | | |
| 7. | 全對(duì)中樣品臺(tái) |
| | Ⅰ | 當(dāng)樣品臺(tái)傾斜時(shí)，全對(duì)中樣品臺(tái)可使圖像位移和焦點(diǎn)變化小。使用此樣品臺(tái)可多 |
| 方向觀察粗糙表面樣品，采用一些不同角度攝取的圖片組成立體圖片，可通過立體 |
| 圖片觀察深度。 |
| 8. | 低真空SEM |
| | Ⅰ | 低真空掃描電鏡，除了包括高真空模式外，還包括低真空模式，在低真空模式下， |
| 不導(dǎo)電樣品以及容易放氣的樣品都可以直接觀察。結(jié)合JEOL獨(dú)有的冷凍干燥技術(shù)， |
| 可在低真空模式下快速觀察含水樣品。 |
| 9. | 各類附件接口 |
| | Ⅰ | EDS（能譜）WDS（波譜）BEIW（背散射電子探頭）SCU（冷臺(tái)）SHIC（IC樣品座）LVSE（低真空二次電子探頭）等等 |
| 技術(shù)參數(shù) |
| 放大倍數(shù) | 5-300，000倍 | | 分辨率 | 高真空：3nm(30KV)/8nm(3KV)/15nm(1KV) 低真空:4.0nm(30KV) | | 電子槍 | 全自動(dòng)，亦可手動(dòng)調(diào)整 | | 樣品臺(tái) | 大全對(duì)中型X=80mm，Y=40mm，Z=5到48mm，傾斜：-10 - +90度，旋轉(zhuǎn)：360度 | | 燈絲 | 工廠預(yù)對(duì)中燈絲（鎢） | | 圖像模式 | 二次電子像，成份像，拓?fù)湎?，陰影?/td> | | 加速電壓 | 5-30KV | | 聚光鏡 | 可變焦聚光鏡 | | 物鏡 | 超級(jí)錐形物鏡 | | 物鏡光闌 | 3檔，X-Y可細(xì)調(diào) | | 電位移 | ±50微米 | | 自動(dòng)功能 | 聚焦，亮度，襯度，消像散 | | 樣品 | 直徑：150mm | | 樣品交換 | 抽拉式樣品臺(tái) | | 真空系統(tǒng) | 全自動(dòng)擴(kuò)散泵DP。分子泵TMP（選購(gòu)） | | 操作系統(tǒng) | Windows XP |
|
| 安裝要求 |
| 電源 | 單相，100V交流，50/60Hz，3.0KVA 穩(wěn)壓范圍10%以內(nèi)（壓降3.0KVA3%以內(nèi)） | | 地線 | 獨(dú)立地線一條，小于等于100歐 | | 溫度 | 20土5℃ | | 濕度 | 小于等于60% | | 交流磁場(chǎng) | 小于等于0.3μT（50/60Hz正玄波，WD：15mm，Acc.V：30KV） | | 地面振動(dòng) | 大于5Hz正玄波 小于等于2μm（P-P） | | 占地 | 2000（W）*2500（D）*1800（H）mm | | 重量 | 325Kg（JSM-6510） 435Kg（JSM-6510LV） | | 門寬 | 850mm以上 |
|
