- 制作工藝：
- 集成
采用MEMS技術(shù)和SOI技術(shù)，集成平膜壓力傳感器芯體，并采用先進的梁膜結(jié)構(gòu)設(shè)計，使其具有耐高溫及瞬時高溫沖擊的能力、動態(tài)頻率響應(yīng)高（可達到1MHZ）、超高量程，以及高過載（可承受滿量程20倍）等特點。“耐高溫微型壓力傳感器”為國家高技術(shù)研究發(fā)展計劃（863計劃）MEMS領(lǐng)域重點項目成果，并通過部級成果鑒定，擁有自主知識產(chǎn)權(quán)。該壓力傳感器廣泛應(yīng)用于航空航天、國防、石油、化工、冶金、電力、船舶、汽車、醫(yī)藥、科研等領(lǐng)域?qū)Ω邷亓黧w的測量。 型號：WYG1、WYG2、WYG4、WYG6、WYG7、WYG8、WYB1、WYB2、WYB1B WYB9、WYB301、WYB302、WYB303、WYB304、WYB501、WYB502、WYB503、WYBR1151 WYBR9、WWB1、WWB2、WYK1、WYK2、WMS
