- 產(chǎn)品品牌：
- SMI
- 產(chǎn)品型號：
- SM5651-001-D-3-SR
- 制作工藝：
- 薄膜
- 輸出信號：
- 模擬型
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SM5651/SM5652為OEM壓力傳感器，完全校準和溫度補償微差壓雙列直插高性能壓力傳感器。 SM5651/SM5652系列為陶瓷基底貼裝高穩(wěn)定壓阻式壓力傳感器芯片，利用陶瓷基板上的薄膜電阻進行零度校正、零點溫度補償和靈敏度溫度補償。SM5651只能用恒流驅(qū)動，一個額外的電阻修剪正?；耐獠坎罘址糯笃鞯妮敵鎏峁┝丝缍刃?。而SM5652在恒壓激勵下對輸出信號很容易進行放大。 SM5651芯片有額外的增益電阻，采用恒流激勵，SM5652采用恒壓激勵。
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特點 應用
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l 微壓0.15psi、0.30psi、0.80psi、1.50psi、和3.0psi l 恒流或恒壓激勵 l 溫度補償范圍寬（0-60℃） l 跨度校準正高達±2% l 零點校準及溫度補償 l 高性能、穩(wěn)定的硅芯片封裝 l 表壓和差壓配置 |
l 醫(yī)療設(shè)備 l HVAC（空調(diào)） l 水平監(jiān)測 l 流量測量 l 工業(yè)控制 l 微差壓變送器 |
性能參數(shù)
測試的條件是：SM5651激勵電流源為1.5mA，室溫為25℃；SM5652激勵電壓源為10.00V DC，室溫25℃，除非另有規(guī)定。
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小值 |
典型值 |
值 |
單位 |
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激勵源 |
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激勵電壓源 DC（SM5652） |
>0 |
10.00 |
20.00 |
V |
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激勵電流源 DC（SM5651） |
>0 |
1.50 |
3.00 |
mA |
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滿量程輸出 |
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SM5651滿量程輸出 |
25.0 |
45.0 |
75.0 |
mV |
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SM5652滿量程輸出 |
24.5 |
25.0 |
25.5 |
mV |
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零點輸出 |
-2.00 |
+0.20 |
2.00 |
mV |
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溫度系數(shù) |
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滿量程溫度系數(shù) |
-0.65 |
+0.20 |
0.65 |
%FS |
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零點溫度系數(shù) |
-1.00 |
+0.20 |
1.00 |
%FS |
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溫度遲滯性 |
-0.30 |
+0.05 |
0.30 |
%FS |
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準確度 |
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線性度（非線性誤差） |
-0.30 |
+0.05 |
+0.30 |
%FS |
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重復性 |
-0.30 |
+0.05 |
+0.30 |
%FS |
|
壓力遲滯性 |
-0.30 |
+0.05 |
+0.30 |
%FS |
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靈敏度匹配性 |
-2.0 |
-0.2 |
+2.0 |
%FS |
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阻抗（SM5651） |
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輸入阻抗 |
1.80 |
3.00 |
3.80 |
kΩ |
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輸出阻抗 |
2.70 |
3.30 |
3.80 |
kΩ |
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阻抗（SM5652） |
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輸入阻抗 |
4.50 |
8.00 |
25.00 |
kΩ |
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輸出阻抗 |
2.00 |
2.50 |
3.80 |
kΩ |
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溫度范圍 |
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補償溫度 |
+0 |
|
+60 |
℃ |
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工作溫度 |
-40 |
|
+125 |
℃ |
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存儲溫度 |
-40 |
|
+125 |
℃ |
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動力特性 |
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耐壓 |
10ⅹ |
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Rated FS |
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爆破壓力 |
15ⅹ |
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|
Rated FS |
備注：
1、正壓指的是從晶圓底部進入；增益，在工廠校準使用的是負壓
2、對于SM5652,量程為0.15psi的滿量程輸出是23.75mV(小)至26.25（）
3、測量溫度超過22~58℃
對于量程為0.15psi，滿量程溫度系數(shù)為±2%FS；零點溫度系數(shù)為±2%FS；對于量程為0.3psi，滿量程溫度系數(shù)為±0.75%FS
4、對于量程為0.3psi，遲滯性為±0.45%FS；對于量程為0.15psi，遲滯性為±0.65%FS
5、直線擬合，是從晶圓頂部測量的
對于量程為0.3psi，線性度為±0.5%FS；對于量程為0.15psi，線性度為±2.5%FS
6、靈敏度匹配指的是部分與部分匹配的程度，對于量程為0.15psi，靈敏度匹配性為5.0%FS
電氣連接
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SM5651外部引腳圖
結(jié)構(gòu)尺寸圖 單位：英寸
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SM5651/SM5652外部尺寸圖
注意：
SM5651/SM5652應注意兩個管的接氣方式，基板上有數(shù)字的那個接氣管接正氣壓，另外一個接氣管接負氣壓。（這里所說的正、負氣壓只是兩者之間氣壓的大與?。?/p>
選型指南
SM5651/SM5652壓阻式壓力傳感器 SM5651—003—D—3—L
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型號 |
測量壓力范圍 |
壓力類型 |
引腳配置 |
長短接管 |
|
SM5651/SM5652 |
001 |
D |
3 |
L |
|
SM5651/SM5652 |
003 |
G |
5 |
S |
|
SM5651/SM5652 |
008 |
D |
3 |
L |
|
SM5651/SM5652 |
015 |
G |
5 |
S |
|
SM5651/SM5652 |
030 |
D |
3 |
L |
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測量壓力范圍 |
壓力類型 |
引腳配置 |
長短接管 |
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PSI |
SM5651/SM5652 |
A—絕壓 D—差壓 G—表壓 |
3：引腳與接氣管相反的方向 5：表面貼裝引腳與接氣管對面方向
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L：長接氣管 S：短接氣管
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0.15 |
001 |
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0.30 |
003 |
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0.80 |
008 |
|||
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1.50 |
015 |
|||
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3.00 |
030 |
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備注：
SM5651/SM5652有表壓、差壓類型，產(chǎn)品外形尺寸以說明書上標注為準，產(chǎn)品升級或其他改動我們會另行通知
