本公司COL－系列無塵烘箱系用于半導體制造中硅片、砷化鎵、鈮酸鋰、玻璃等材料涂膠前的預處理烘烤、涂膠后堅膜烘烤和顯影后的高溫烘烤，強制送風循環(huán)方式。雙風道循環(huán)結(jié)構(gòu)，溫度場分布均勻，智能P.I.D溫控系統(tǒng)，得到溫度控制。

技術(shù)參數(shù)：     

1. 百級無塵烤箱型號:COL-2

2. 無塵烘箱工作尺寸(mm):W600×H600×D500

3. 溫度范圍：RT＋60℃～300℃

4. 無塵烤箱潔凈度：100級；

5. 溫度均勻性: ±1.5%

6. 波 動 度：±0.5℃

7. 電    源：380V 50Hz  7.5KW；

8. 箱體材料：外箱采用SS41# 中碳鋼板經(jīng)磷酸皮膜鹽處理后兩層防光面涂裝烤漆，可防止微塵(PARTICLE),內(nèi)室材料：采用SUS304＃無磁性鏡面不銹鋼,保溫材料：超細玻璃棉； 

9. 空氣循環(huán)裝置：大容量軸流電機；

10. 加熱方式：不銹鋼電加熱器；

11. 溫度測量傳感器：Pt100 鉑電阻；

12. 控制儀表：進口數(shù)顯溫度控制器，PID調(diào)節(jié)，控制0.1℃；

13. 超溫保護儀表：獨立于工作室主控制的超溫保護系統(tǒng)，保證試驗品的安全；

14. 控制系統(tǒng)：主要電器件均采用斯耐德、歐姆龍等進口元氣件；

15. 排 氣 口：ф50；

16. 隔    板：2層，不銹鋼方通，承重約30KG。