- 產(chǎn)品品牌：
- 日本.日立
- 產(chǎn)品型號：
- HD-2700
- 類型：
- 光學(xué)顯微鏡
詳細(xì)信息
電鏡球差校正技術(shù)的實(shí)用化，使得同時(shí)進(jìn)行超高分辨率觀察和超高靈敏度分析成為可能。日立高新技術(shù)公司與CEOS公司共同的努力，成功地開發(fā)出了新一代掃描透射電子顯微鏡(STEM)。
HD-2700通過球差校正，用大會(huì)聚角獲得了亞納米級電子束，在分辨率和分析性能獲得重大的進(jìn)步。
HD-2700共有三種型號，分別是配有球差校正的高分辨型和標(biāo)準(zhǔn)型，以及無球差校正型，可根據(jù)應(yīng)用需求選擇。
特點(diǎn)：
1.高分辨觀察
*利用金顆粒保證0.144nm分辨率DF-STEM像（標(biāo)準(zhǔn)型）
2.增加了探針電流(約為非校正的STEM探針電流的10倍)，可以進(jìn)行高速、高靈敏度能譜分析
*可以在更短的時(shí)間內(nèi)獲得元素的面分布圖
*檢測微量元素成為可能
3.簡化的操作
*提供了專用的GUI自動(dòng)調(diào)節(jié)球差校正器
4.整體的解決方案
*樣品桿與日立FIB兼容，提供了納米尺度的整體解決方案：從制樣到數(shù)據(jù)獲得和終分析
5.多種評價(jià)/分析功能可選
*同時(shí)獲得和顯示SE&BF、SE&DF、BF&DF、DF/EDX和DF/EELS像
*可以配備ELV-2000型實(shí)時(shí)元素Mapping系統(tǒng)(DF-STEM像可以同時(shí)獲得)
*實(shí)時(shí)衍射(DF-STEM像和衍射像可以同時(shí)觀察)
*低劑量功能可以減少由電子束造成的樣品破壞/污染
*可以配備超微柱頭樣品桿進(jìn)行三維分析(360度旋轉(zhuǎn))
*的放大倍率校準(zhǔn)功能
| 技術(shù)指標(biāo) | ||
| 項(xiàng)目 | 描述 | |
| 分辨率 (晶格分辨率) |
1、配有球差校正的標(biāo)準(zhǔn)型 0.144nm，電子槍：冷場或熱場 | |
| 2、配有球差校正的高分辨型 0.136nm，電子槍：冷場 | ||
| 3、無球差校正型 0.204nm，電子槍：熱場 | ||
| 加速電壓 | 200KV | |
| 放大倍率 | 100x -10,000,000 | |
| 圖像模式 |
圖像模式相襯度像(TE像) | |
| 原子序數(shù)襯度像(ZC像) | ||
| 電子衍射花樣(可選) | ||
| 特征X射線像(可選：EDX) | ||
| EELS像(可選：ELV-2000) | ||
| 電子光學(xué) |
電子槍 | 場發(fā)射電子源，內(nèi)置陽極加熱器 |
| 透鏡系統(tǒng) | 兩級聚光鏡、物鏡、投影鏡 | |
| 球差校正器 | 六極/傳輸雙重（標(biāo)準(zhǔn)型和高分辨型） | |
| 掃描線圈 | 兩級電磁線圈 | |
| 電位移 | 0.5μm | |
| 樣品桿 | 類型 | 側(cè)插式 |
| 移動(dòng)范圍 | X,Y=±1mm，T=±30°(單傾樣品桿) | |
| 操作系統(tǒng) | Windows XP | |
