- 產(chǎn)品品牌：
- 日立
- 產(chǎn)品型號：
- SU1510
- 類型：
- 電子顯微鏡
產(chǎn)品名稱：日立掃描電子顯微鏡SU1510
日立掃描電子顯微鏡SU1510的介紹
主機(jī)寬度僅為55cm體型小巧，具有3.0nm分辨率的高性能可變壓力掃描電鏡。
日立掃描電子顯微鏡SU1510的特點(diǎn)
1.儀器主體比過去減小20%，可以更加自由地選擇安裝場地。
2. 標(biāo)配低真空功能，可以對不導(dǎo)電進(jìn)行無噴涂觀察。高低真空轉(zhuǎn)換一鍵完成。
3. 可載入直徑153mm，高度為60mm(WD=15mm)的樣品，并進(jìn)行元素分析。
4. 強(qiáng)大的鼠標(biāo)控制功能，可實(shí)現(xiàn)電鏡的所有操作。
5. 分子泵真空系統(tǒng)，潔凈無污染。
日立掃描電子顯微鏡SU1510的技術(shù)規(guī)格
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項(xiàng)目 |
內(nèi)容 |
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二次電子分辨率 |
3.0nm（高真空，30kV） |
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背散射電子分辨率 |
4.0nm(低真空：6Pa，30kV） |
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倍率 |
5～300,000倍 |
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加速電圧 |
0.3～30 kV |
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樣品臺 |
X 0～80 mm |
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樣品臺控制 |
手動（可選：2軸馬達(dá)） |
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載入樣品尺寸 |
直徑：153 mm |
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觀察范圍 |
直徑：126 mm（XYR并用） |
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樣品高度 |
60 mm（WD=15 mm） |
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低真空范圍 |
6-270Pa(從菜單設(shè)定) |
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燈絲 |
預(yù)對中鎢燈絲 |
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物鏡光闌 |
4孔可變光闌 |
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槍偏壓 |
固定比例偏壓、手動偏壓和自動4偏壓 |
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檢測器 |
二次電子檢測器，高靈敏度半導(dǎo)體背散射電子檢測器 |
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EDX分析位置 |
WD=15,TOA=35° |
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真空系統(tǒng) |
分子泵1臺，機(jī)械泵1臺 |
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安全措施 |
停電，漏電，自動保護(hù) |
