- 產(chǎn)品品牌：
- 日立
- 產(chǎn)品型號(hào)：
- S-3700N
- 類型：
- 光學(xué)顯微鏡
研究超大，超重，超高樣品的分析型掃描電鏡
●可載樣品直徑達(dá)300mm
●觀察區(qū)域直徑達(dá)203mm
●在觀察110mm高樣品時(shí)可進(jìn)行能譜分析
●樣品室設(shè)置多種接口，可安裝EDS、WDS、EBSD和CL等多種分析用附件
●5軸優(yōu)中心馬達(dá)臺(tái)可以傾斜-20度~+90度
●采用節(jié)能，清潔的渦輪分子泵
| S-3700N技術(shù)參數(shù) | ||
| 分辨率 | SE |
3.0nm，30KV(高真空模式) 10nm， 3KV(高真空模式) |
| BSE | 4.0nm，30KV（低真空模式） | |
| 放大倍率 | x5~x300，000 | |
| 加速電壓 | 0.3~30KV | |
| 低真空范圍 | 6~270Pa | |
| 圖像電位移 | ±50μm （工作距離10mm） | |
| 樣品尺寸 | 直徑300mm | |
| 樣品臺(tái) | ||
| X | 150mm | |
| Y | 110mm | |
| Z | 5~65mm | |
| R | 360° | |
| T | -20°~90° | |
| 觀測(cè)區(qū)域 | 203mm | |
| 樣品高度 | 直徑110mm（工作距離10mm） | |
| 樣品臺(tái)類型 | 優(yōu)中心馬達(dá)臺(tái) | |
| 電子光學(xué)系統(tǒng) | ||
| 燈絲 | 預(yù)對(duì)中燈絲 | |
| 物鏡 | 4孔活動(dòng)光闌 | |
| 光闌 | 固定比例偏壓、手動(dòng)偏壓和自動(dòng)4偏壓 | |
| 槍偏壓 | 二次電子探頭 | |
| 探測(cè)器 | 5分割半導(dǎo)體式被散射探頭 | |
| 分析位置 | 工作距離10mm，取出角35° | |
| 顯示控制系統(tǒng) | ||
| 控制模式 | 鍵盤鼠標(biāo)、操縱桿、旋鈕板 | |
| 顯示器 | 液晶顯示器 | |
| 輔助功能 | 3D動(dòng)畫演示功能 | |
| 電鏡操作導(dǎo)航功能 | ||
| 樣品操作導(dǎo)航功能 | ||
| 傾斜補(bǔ)償功能 | ||
| 存儲(chǔ)圖像 | 640 x 480 , 1280 x 960 | |
| 2560 x 1920 , 5120 x 3840 | ||
| 圖片格式 | BMP, TIFF, JPEG | |
| 圖像顯示模式 | 全屏模式：1280 x 960 | |
| 標(biāo)準(zhǔn)模式：640 x 480 | ||
| 分割模式：640 x 480 點(diǎn)x 2 | ||
| 信號(hào)混合模式 | ||
| 真空系統(tǒng) | ||
| 控制模式 | 全自動(dòng) | |
| 分子泵 | 210升/秒，一臺(tái) | |
| 機(jī)械泵 | 135升/分，一臺(tái) | |
| 保護(hù)措施 | 斷電保護(hù)、漏氣保護(hù) | |
