·             新的內(nèi)部緊湊設(shè)計，縮小了設(shè)備的尺寸。

·             7"觸屏控制面板操作系統(tǒng)，更方便操作。

·             Telon ®/polyethylene “密閉碗”設(shè)計可適合各種材料勻膠工藝。

·             標(biāo)準(zhǔn)配置轉(zhuǎn)速10000rpm，并可根據(jù)用戶需要進行定制。

·             采用工業(yè)級別伺服電機，電機設(shè)計避免光刻膠等污染物進入電機內(nèi)部。

·             機身選用耐酸堿、耐沖擊、耐腐蝕不銹鋼，永不生銹，便于清洗。

·             排風(fēng)和抽氣系統(tǒng)位計于載片臺之底部 （以利于排風(fēng)效率和勻膠均一性）。

·             透明可視，耐化學(xué)腐蝕的密封蓋，可以在旋涂作業(yè)時完全隔絕光阻的溢出有效隔絕有毒氣味的散發(fā)。

主要性能指標(biāo)

·             主機機箱采用不銹鋼材料（抗化學(xué)腐蝕易清潔）

·             旋涂程序：多可存100組程序，每組100步，每個步驟可到0.1秒

·             轉(zhuǎn)動速度：0-10,000rpm(可選更高速)

·             旋涂加速度：0-50,000rpm/sec（空載）

·             馬達旋涂轉(zhuǎn)速穩(wěn)定性能誤差 < ±1%

·             轉(zhuǎn)速調(diào)節(jié)<1rpm，重復(fù)性< 1rpm

·             工藝時間設(shè)定： 0-3,000 sec/step，時間設(shè)置：0.1sec

·             支持wafer尺寸1cm-200mm

·             旋涂作業(yè)均勻性：< ±3% 在6英寸范圍內(nèi)（需要去除邊緣3毫米區(qū)域測量）

·             設(shè)備尺寸  32cm W × 45cm D × 30cm H