產(chǎn)品品牌：

美國MKS

產(chǎn)品型號：

πMFC

測量范圍：

2-20 m3/h

等級：

1%

適用介質(zhì)：

多氣體，多范圍

工作壓力：

多量程 MPa

工作溫度：

常溫 ℃

1，新一代πMFC壓力不敏感質(zhì)量流量控制器在功能和性能上都進(jìn)行了改進(jìn)，使得半導(dǎo)體和高純薄膜用戶能進(jìn)一步增加他們設(shè)備的產(chǎn)額。

2，通過一個(gè)先進(jìn)的數(shù)字算法，似的控制器對上游和下游的壓力擾動(dòng)不敏感，實(shí)現(xiàn)了的實(shí)時(shí)流量控制。

3，與通?；赑ID的數(shù)字MFC相比，他由于能實(shí)現(xiàn)工藝氣體流量的實(shí)時(shí)控制而極大地提高了控制，具有更好的工藝腔室匹配性。

4，集成的壓力傳感器和其LED顯示可減少所需一個(gè)氣體stick的組成數(shù)目，基于網(wǎng)絡(luò)的瀏覽器界面使客戶可以實(shí)時(shí)地進(jìn)行控制器的設(shè)置和故障排除，從而減少了對“無故障”MFC的替換并且無需中斷工藝氣體輸送。