Lighthouse 污染反應監(jiān)測器

空氣分子污染監(jiān)測系統(tǒng)

萊特浩斯污染反應監(jiān)測器是個能提供區(qū)域環(huán)境空氣分子污染實時數(shù)據(jù)的儀器。鍍有銅
或銀石英晶體微量平衡傳感
器用于檢測大量的導致金屬污染反應的腐蝕薄膜。對氣團的增大的描述是基于被腐蝕的用于測量波長埃里數(shù)的光掩膜。這種高的腐蝕檢測手段將設備的監(jiān)測提升到
了1ppb的級別。

操作規(guī)則

萊特浩斯污染反應監(jiān)測器是個能提供區(qū)域環(huán)境空氣分子污染實時數(shù)據(jù)的儀器。鍍有銅或銀石英晶體微量平衡傳感
器用于檢測大量的導致金屬污染反應的腐蝕薄膜。對氣團的增大的描述是基于被腐蝕的用于測量波長埃里數(shù)的光掩
膜。這種高的腐蝕檢測手段將設備的監(jiān)測提升到了1ppb的級別。

空氣分子污染

一套的系統(tǒng)被發(fā)展成微環(huán)境下空氣光掩膜表面的空氣質(zhì)量的檢測。下表提供了空氣質(zhì)量標準的參考，其中各項參
數(shù)需要嚴格要求才能保證芯片制造的質(zhì)量，包括了對AMC的要求。

空氣質(zhì)量標準

銅腐蝕

銀腐蝕

等級	空氣質(zhì)量級別	反應率	等級	空氣質(zhì)量級別	反應率
C1 C2 C3 C4 C5	純凈清潔中度污染污染較嚴重嚴重	<90?/30 days <150?/30 days <250?/30 days <350?/30 days >350?/30 days	S1 S2 S3 S4 S5	純凈清潔中度污染污染較嚴重嚴重	<40?/30 days <100?/30 days <200?/30 days <300?/30 days >300?/30 days

空氣質(zhì)量級別詳細說明

純凈：污染對裝配過程不構成可測得的威脅。
清潔：污染可測到，但對裝配過程不構成即時威脅
中度污染：超過以上標準的污染會輕度影響裝配過程
污染較嚴重：超過以上標準會對裝配過程造成污染。
嚴重：污染對裝配過程構成即時威脅。

萊特浩斯污染反應監(jiān)測器

萊特浩斯感應監(jiān)測器的維護僅需替換傳感器原因在于紅色發(fā)光燈閃跳。在 2級環(huán)境下，銅質(zhì)地的傳感器將能延用26個月；
銀質(zhì)地的傳感器將能延用40個月。安裝LWS實時監(jiān)控顯示器時，需要放置在特殊的盒子里，在合適安全的視線高度內(nèi)固定好.

區(qū)域：選擇潔凈，干燥的無震動區(qū)域室溫保持在-10 和 75°C (14° and 167°F)之間并且相對濕度在無凝固狀態(tài)下的10% 和
95%之間

萊特浩斯感應監(jiān)測器能通過T掌上手持式電腦或筆記本電腦直接讀取輸出，，或解決遇到的疑難問題。運用某一調(diào)制解
調(diào)器發(fā)送信號的軟件，諸如終端T或在線T，設定9600波特率。將數(shù)字式232RS 數(shù)據(jù)線插入萊特浩斯感應監(jiān)測器上的RS-232
端口可獲取累積或增，數(shù)據(jù)線由萊特浩斯提供以連接到筆記本電腦或手持式掌上電腦上。

RS－232 以一埃的測量波長度輸出數(shù)據(jù)

記錄

銅

積累/增加

銀

積累/增加

0000,
0001,

0002,
0002,

0004,
0004,

運作	相關參數(shù)
小輸出值: 4 mA 輸出值: 20 mA 反復性: ± 0.5-1% of full span	尺寸(長×寬×高): 3.25 x 4.24 x 1.37 英寸重量t: 0.3 磅 (150 公斤) 外殼:黑色塑膠材質(zhì)

電伏指數(shù)
電源共計:	18 － 30伏, 非常規(guī)
輸出信號l:	2個 4-20 毫安的直流電通道， 2根電源線
日常耗電量:	<50毫安
模擬輸出間隔:	通過電流間隔為 60 秒
數(shù)字輸出間隔:	15秒, RS-232 輸出端口
紅色閃燈:	表示傳感器出現(xiàn)故障
綠色燈快閃:	* 2 小時 – 表示傳感器在初始化階段
綠色燈慢閃:	** 24小時 – 表示加強數(shù)據(jù)收集
綠色燈不閃動:	表示設備處于常規(guī)操作階段
* 表示每2秒鐘一閃 **表示每4秒鐘一閃
Cumulative Corrosion Span Incremental Corrosion Span