產(chǎn)品品牌：

COXEM【酷塞目】

產(chǎn)品型號(hào)：

CX-200TA

類型：

電子顯微鏡

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主要參數(shù)
分辨率：3.0nm (30KV, SE image) 10nm（3KV,SE image）
              4.0nm（30KV，BSE image）
放大倍數(shù)：10X ~300,000X（WD=5mm）
                  3X （WD=50mm）
加速電壓：0.5KV ~ 30KV
電子槍：W燈絲，預(yù)對(duì)中
聚光鏡：2級(jí)電磁透鏡
物鏡：圓錐形電磁透鏡
物鏡光闌：4個(gè)可變孔徑光闌，(30um, 50um, 100um, 200um)，搖擺對(duì)中
樣品室：內(nèi)部尺寸  210mm直徑 X280mm高度，可接配EDS,BSE,WDS，
樣品臺(tái)：五軸全自動(dòng)，機(jī)械對(duì)中樣品臺(tái)，坐標(biāo)導(dǎo)航軟件控制，具有多種保護(hù)功能。
樣品臺(tái)行程： X: 65 mm, Y: 40 mm, Z: 5~70 mm, T: -20°~90°, R: 360°
樣品尺寸:130mm（直徑） x 71mm（樣品高度）
操作控制：PCI/USB接口PC機(jī)控制，，基于WindowsTM的GUI操作軟件，鼠標(biāo)鍵盤操作，允許用戶自定義熱鍵操作，19英寸顯示器。
自動(dòng)功能：自動(dòng)亮度對(duì)比度，自動(dòng)聚焦，自動(dòng)消象散，自動(dòng)電子槍對(duì)中，自動(dòng)燈絲飽和，自動(dòng)偏壓，動(dòng)態(tài)聚焦，傾斜校正等一鍵操作。
語言：英語 或者 中文
圖像掃描模式：全屏、選區(qū)、分屏、雙放大、SE&bse混合；TV模式、慢掃描、照相存儲(chǔ)等，
圖像像素：5120 x 3840 pixel
圖像格式：JPG 、BMP、TIFF等
圖像位移：±50um（WD=10mm）
圖像處理分析管理軟件
真空系統(tǒng)：兩級(jí)全自動(dòng)渦輪分子泵系統(tǒng)（260 liters/sec），真空度實(shí)時(shí)顯示。
外形尺寸和重量： 主 機(jī): 77(W)x88(D)x150(H)㎝, 350㎏
操作桌: 85(W)x80(D)x70(H)㎝, 10㎏
電源 主機(jī)電器控制部分 單相220~250V交流 50/60Hz 2KW
穩(wěn)定度 小于 5%
地線 獨(dú)立地線1條，小于等于100Ω
環(huán)境
溫度 15-30°C
濕度 小于等于70 %
交流磁場 小于等于0.3 uT
地面振動(dòng) 5 um/sec Max. @ < 5~10Hz
門寬 900mm或更寬