1.測(cè)量范圍：X=800mm，Y=1000mm，Z=600mm 2.空間測(cè)量示值誤差：E≤2.9+L/250µm 3.探測(cè)誤差：R≤2.9µm 4.分辨率：0.5µm 5.運(yùn)動(dòng)速度：400mm/s 6.承受重量：1000kg 7.儀器重量：1700kg 8.外型尺寸：2080mm×1600mm×2760mm 9.環(huán)境要求： l 溫度范圍：20±2℃，0.5℃/h， < 1°C /24h l 氣源壓力： 0.6MPa～0.8MPa，200L/min(0.4MPa) l 濕度范圍：30%-70% l 電源： 220V±10% ，50Hz l 功率：1KV l 地面振動(dòng)：振動(dòng)頻率≤10 Hz 振幅≤0.5μm 10 Hz<振動(dòng)頻率≤30 Hz 振幅≤1μm 振動(dòng)頻率≥30 Hz 振幅≤3μm 二．配置、功能及技術(shù)說(shuō)明 A．主機(jī)一臺(tái)： 包括三坐標(biāo)測(cè)量主機(jī)、機(jī)器支撐、進(jìn)口精密空氣過(guò)濾器、英國(guó)RENISHAW長(zhǎng)度測(cè)量系統(tǒng)。 1. 整體式的花崗巖工作臺(tái)，使其具有承載能力強(qiáng)、工件放置空間寬闊、裝卸便捷的特點(diǎn)； 2. 三軸導(dǎo)軌均采用優(yōu)質(zhì)花崗巖，使三軸具有相同的溫度特性，因而具有良好的溫度穩(wěn)定性、抗時(shí)效變形能力，剛性好、幾何變形??； 3. 非線性彈簧系統(tǒng)的應(yīng)用，降低了導(dǎo)軌微小誤差對(duì)測(cè)量的影響，同時(shí)保證設(shè)備具有更高的環(huán)境溫度適應(yīng)性； 4. 全部導(dǎo)軌采用高的空氣軸承，環(huán)抱式的導(dǎo)軌設(shè)計(jì)提高了機(jī)器的剛性和穩(wěn)定性，即使長(zhǎng)時(shí)間工作也能保持很高的，確保了機(jī)器優(yōu)異的動(dòng)態(tài)特性 5. 橫梁采用獨(dú)特的導(dǎo)軌結(jié)構(gòu)，三角形是同樣面積中截面周長(zhǎng)的形狀。三角形的導(dǎo)軌保證了在小慣量的條件下取得的導(dǎo)向空氣軸承跨距，大幅提高了導(dǎo)軌的防轉(zhuǎn)。 6. Z軸扭轉(zhuǎn)是決定測(cè)量機(jī)的重要環(huán)節(jié)，可靠的防轉(zhuǎn)結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)使得即使在使用測(cè)頭加長(zhǎng)桿時(shí)也能獲得很高的。 7. 傳動(dòng)系統(tǒng)的振動(dòng)隔離設(shè)計(jì)，使得機(jī)器高速運(yùn)動(dòng)時(shí)也能把機(jī)械振動(dòng)對(duì)測(cè)量的影響降低到小。 8. 三軸采用高性能同步帶傳動(dòng)，不但可以獲得很高的運(yùn)動(dòng)速度以提高測(cè)量效率，還可以限度的降低傳動(dòng)慣量以提高運(yùn)動(dòng)加速度； 9. Z軸采用可調(diào)節(jié)的氣動(dòng)平衡裝置，配置不同的測(cè)頭系統(tǒng)時(shí)可以方便的調(diào)節(jié)平衡力，使Z軸運(yùn)動(dòng)達(dá)到狀態(tài)； 10.長(zhǎng)度測(cè)量系統(tǒng)采用RENISHAW高反射式金屬帶狀光柵尺和讀數(shù)頭，具有極高的和穩(wěn)定性； 11. 主機(jī)上配置的進(jìn)口高空氣過(guò)濾器可以使壓縮空氣達(dá)到極高的潔凈度以有效地保護(hù)空氣軸承和導(dǎo)軌，同時(shí)自動(dòng)排水裝置使得操作者使用時(shí)更加省心省力，避免了因忘記排水導(dǎo)致的設(shè)備損壞 B．控制系統(tǒng)一套，包括電器控制箱（英國(guó)ON MONTION控制系統(tǒng)）一個(gè)，操縱盒一個(gè)（英國(guó)）。 1. 我公司采用的控制系統(tǒng)是一款按EUC標(biāo)準(zhǔn)(IP54)，專門為CNC三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)而設(shè)計(jì)制造的數(shù)控系統(tǒng)，本系統(tǒng)采用了控制層和應(yīng)用層分開的原理，為三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)(CMM)的高，準(zhǔn)確性，高效率提供了堅(jiān)實(shí)的基礎(chǔ)。 2. 驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)采用直流伺服電機(jī)驅(qū)動(dòng)，四軸均可無(wú)間隙、無(wú)振動(dòng)的驅(qū)動(dòng)，直接驅(qū)動(dòng)4軸直流伺服電機(jī)按照速度T曲線或S曲線運(yùn)動(dòng)。 3. 按照4軸閉環(huán)運(yùn)動(dòng)方式配置，可輸入4路TTL正交脈沖(或者兩路相差90度的信號(hào)，內(nèi)部細(xì)分) 4. 測(cè)頭接口電路兼容多種型式測(cè)頭，能支持多家公司的不同型號(hào)的測(cè)頭產(chǎn)品。 5. 控制系統(tǒng)更加安全可靠，它提供了多個(gè)控制模式，當(dāng)導(dǎo)致停機(jī)的問(wèn)題發(fā)生時(shí)，本系統(tǒng)能夠在時(shí)間內(nèi)切換到相應(yīng)的模式讓機(jī)器停下來(lái)，用戶不用擔(dān)心飛車的意外，并具有故障在線診斷的功能。 6. ON MOTION 控制系統(tǒng)可以使 RENISHAW 普通觸發(fā)式測(cè)頭實(shí)現(xiàn)連續(xù)掃描測(cè)量功能，可對(duì)未知曲線、曲面進(jìn)行跟蹤掃描測(cè)量。因此坐標(biāo)測(cè)量機(jī)無(wú)需加裝激光掃描測(cè)頭及SP600掃描測(cè)頭等硬件即可完成接觸掃描。 7. 速度更快，運(yùn)動(dòng)平穩(wěn)，效率更高，在多點(diǎn)連續(xù)運(yùn)動(dòng)的路徑規(guī)劃上，既可以走直線也可以走圓(Round Corner)，用觸發(fā)式測(cè)頭實(shí)現(xiàn)圓形工件的掃描成為可能。 8. 控制系統(tǒng)穩(wěn)定，維護(hù)簡(jiǎn)單：控制層和應(yīng)用層分開為本系統(tǒng)的問(wèn)題診斷和解決更為簡(jiǎn)單和明確，一個(gè)層面上的問(wèn)題波及到另外一個(gè)層面的現(xiàn)象將不復(fù)存在，故控制更為可靠、穩(wěn)定。 9. 操縱盒的人性化設(shè)計(jì)：操縱盒為用戶提供了控制更為簡(jiǎn)捷、合理的按鍵及操作桿。既有傳統(tǒng)上的速度控制，還提供輸入鍵盤。當(dāng)然，應(yīng)急開關(guān)是必不可少的。 三．計(jì)算機(jī)系統(tǒng)一套： 聯(lián)想P4-2.6G計(jì)算機(jī)一臺(tái) l 512M內(nèi)存 l 80GB硬盤 l 16倍速DVD-ROM光驅(qū) l 17寸純平彩色顯示器 l 操作系統(tǒng)：WINDOWS XP l 噴墨打印機(jī)(HP)一臺(tái) l 計(jì)算機(jī)桌椅一套 四． 測(cè)頭系統(tǒng)一套（英國(guó)）,包括：
| 1 | RENISHAW MH20i 的手動(dòng)雙旋轉(zhuǎn)測(cè)頭 | 1個(gè) |
| l | 分度軸A：0°～90° 步距：15° | |
| l | 分度軸B：±180° 步距：15° | |
| l | 空間測(cè)量方位：168個(gè) | |
| l | 定位重復(fù)性：0.5μm | |
| 2 | RENISHAW 標(biāo)準(zhǔn)測(cè)力模塊 | 1個(gè) |
| 3 | RENISHAW第3測(cè)針組件 | |
| 3.1 | 測(cè)針PS49R (φ1.5×20/12.5) | 1根 |
| 3.2 | 測(cè)針PS27R (φ2.5×20/14) | 5根 |
| 3.3 | 測(cè)針PS17R (φ4×20/20.2) | 1根 |
| 3.4 | 測(cè)針 PS20R(30×15) | 1根 |
| 3.5 | 測(cè)針 PS68R(φ5×50/50陶瓷) | 1根 |
| 3.6 | 測(cè)針加長(zhǎng)桿SE4（10mm） | 1根 |
| 3.7 | 測(cè)針加長(zhǎng)桿SE5（20mm） | 1根 |
| 3.8 | 測(cè)針加長(zhǎng)桿SE18（40mm） | 1根 |
| 3.9 | 測(cè)針中心SC2 | 1根 |
| 4 | 校準(zhǔn)球 φ19 | 1個(gè) |
| 5 | 萬(wàn)向球座 | 1個(gè) |
