產(chǎn)品品牌：

美國 INFICON石英晶體膜厚控制儀

產(chǎn)品型號：

MDC360

產(chǎn)品用途：

半導(dǎo)體，平面顯示器，光學(xué)元件的制造

質(zhì)保時間：

2012-12-25

質(zhì)保時間：

2012-12-25

該設(shè)備具有功能強(qiáng)大的自我檢測系統(tǒng)，在自動運(yùn)行模式過程中，即使在感應(yīng)器晶片失效情況下，仍可在無需人工操作情況下完成預(yù)設(shè)鍍膜程序。執(zhí)行運(yùn)行條件與中止功能可由操作員設(shè)定。
　　•性能
　　MDC360具有多重性能，只需低成本設(shè)備調(diào)整即可，具備多種半導(dǎo)體技術(shù)和低成本微處理器用途。　　
　　•動態(tài)檢測更新速率
　　動態(tài)檢測是由0.5至10Hz（赫茲）之間調(diào)整，使之達(dá)到分辨率及控制。
　　•優(yōu)良的圖象顯示
　　MDC-360配備了256x64像素液晶圖象顯示器，使之具備重要數(shù)據(jù)的即時顯示，例如速率速率偏差膜厚及功率。
　　•程序安全
　　MDC-360配備了密碼編輯功能，以保證已儲存的程序的完整及不被其他人隨意改動。
　　•運(yùn)行過程無需人為操作設(shè)計
　　MDC-360已具備真正的全自動運(yùn)行至程序結(jié)束功能，并且具有功能強(qiáng)大的內(nèi)在監(jiān)測及超越異常中斷線路，使異常中斷的可能性降至。
　　•安全故障中止
　　在運(yùn)行過程中，如果出現(xiàn)故障MDC360內(nèi)在檢測證實，運(yùn)行無法繼續(xù)MDC360將中止程序運(yùn)行并且關(guān)閉所有輸出，同時在速率控制錯誤或晶片故障時，MDC360可提供給操作者選擇運(yùn)行中止。

　　•保持程序中斷狀態(tài)　　
　　當(dāng)MDC360中斷鍍膜運(yùn)行時，相關(guān)的運(yùn)行信息將被儲存起來，待故障排除后被中止了的鍍膜運(yùn)行將可繼續(xù)進(jìn)行。
　　•晶片失效時完成運(yùn)行
　　MDC360的內(nèi)在監(jiān)測與中止運(yùn)行功能，是為了保護(hù)鍍膜設(shè)備安全以及避免設(shè)備在運(yùn)行過程中發(fā)生嚴(yán)重故障，運(yùn)行過程中晶片失效屬于例外情況，可以不必中止運(yùn)行程序，在此狀態(tài)下MDC360可以設(shè)定為中止運(yùn)行，但也可設(shè)定為轉(zhuǎn)換備用晶片或時間／功率方式繼續(xù)運(yùn)行。
　　•高效能系統(tǒng)界面
　　完全可程序化的獨(dú)立的輸入和輸出，使MDC360很容易與鍍膜系統(tǒng)的界面連接，以控制更復(fù)雜的運(yùn)行過程，同時為避免短路故障源極控制輸出是完全獨(dú)立絕緣的。MDC360還支持并接收光學(xué)膜厚儀的光學(xué)膜厚終止信號。
　　•電源干擾公差
　　完整的RFI濾波器與大容量的電容器將可容許至700ms（毫秒）以下的電源中斷及高強(qiáng)度干擾而繼續(xù)工作。
　　•國際標(biāo)準(zhǔn)電源接頭
　　電源接頭是經(jīng)過國際及符合IEC（國際電器技術(shù)協(xié)會）標(biāo)準(zhǔn)，輸入電源可選擇100至240伏，50或60赫茲并配備了高性能RFI干擾過濾器。
　　•現(xiàn)場性能提升
　　插入式界面板和選項板可以使基礎(chǔ)設(shè)備個體在工作現(xiàn)場升級至系統(tǒng)別。

北京利方達(dá)真空技術(shù)有限責(zé)任公司

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