產(chǎn)品品牌：

AGC

產(chǎn)品型號：

SERICS 100/600

系統(tǒng)名稱

硅烷中雜質(zhì)分析檢測系統(tǒng)。

設(shè)計思路

我公司設(shè)計的“高純氣分析檢測系統(tǒng)”包括以下主要設(shè)計思路： l  專臺專用，在完全滿足檢測要求的前提下，優(yōu)化組合配套； l  儀器的選型配套，要符合實驗室的使用要求，并且便于分析人員的操作； l  提供人性化的售后服務(wù)和支持，保證使用方能獨立操作。

技術(shù)優(yōu)勢

我公司設(shè)計的“高純氣分析檢測系統(tǒng)”方案擁有以下技術(shù)優(yōu)勢： l  色譜儀的部件----檢測器完全基于愛爾蘭AGC公司的自主研發(fā)， 具有較高的靈敏度、較好的穩(wěn)定性； l  色譜儀的氣路系統(tǒng)----獨到的中心切割、反吹系統(tǒng)技術(shù)，可以完成多種復(fù)雜成分的分析檢測； l  色譜儀的軟件系統(tǒng)----專門為AGC色譜配套研發(fā)的Trend Vision，除完成測試、自動分析/存儲數(shù)據(jù)，自動繪制譜圖、反控氣相色譜、調(diào)節(jié)保留時間及各種切割動作外，多可同時控制4臺分析儀器； l  本方案中所配套的露點儀，為行業(yè)內(nèi)先進的氣體分析儀器，可以完全滿足實驗室高純氣體的檢測。    

方案詳解

方案總述

l 硅烷中H₂、O₂、N₂、CH₄、CO、CO₂雜質(zhì)分析

推薦儀器：AGC 100DID氣相色譜儀

數(shù)量：1臺 l 特氣分析專用吹掃系統(tǒng)一套

硅烷中H₂/O₂/N₂/CH₄/CO/CO₂雜質(zhì)分析----AGC100DI

檢測器工作原理

 放電離子化檢測器的結(jié)構(gòu)如圖1所示。該檢測器由電離室和放電室兩部分組成，兩室之間有狹路相通。當(dāng)在放電室內(nèi)的兩個高壓電極上加以適量高壓電后，兩電極之間就會產(chǎn)生放電，從而得到一束高能量的紫外光輻射(400－500nm)。高能紫外光被引入射向電離室內(nèi)，在這過程中，高能光子直接照射樣品成份中被測雜質(zhì)分子，使其電離形成離子，或者高能光子首先將載氣氦原子激發(fā)至亞穩(wěn)態(tài)(He*)，然后具有較高能量的He*再與樣品中雜質(zhì)分子發(fā)生非彈性碰撞并使其電離。此時在集電極上加以適當(dāng)電壓收集被電離的雜質(zhì)分子，并將其信號放大記錄即得到被測成份的譜峰。由于光子具有較高能量(24.8ev)，因此可使包括氖在內(nèi)的一切物質(zhì)分子電離，所以，DID是一種高靈敏度、通用型檢測器。

圖1：DID檢測器

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  技術(shù)數(shù)據(jù) 　 　 　 　 　 　 　 　    

型號、廠家	AGC100DID、愛爾蘭AGC儀器有限公司
DID檢測器	靈敏度：CH4≤5ppb
	線性范圍：＞106
柱箱溫度范圍	室溫～250℃
升溫	＜±1％
載氣	超純氦  ＞99.999%
放電氣體	超純氦  ＞99.999%
驅(qū)動氣	清潔干燥空氣
電源要求	220V，50/60Hz
樣品氣進口連接方式	1/8″VCR
安裝方式	支架式

       

 

 

　

　

　

　

　

　

供貨組成及系統(tǒng)流程圖

　  

AGC600DID色譜儀組成(如圖2所示)：			數(shù)量
1.色譜柱分離系統(tǒng)	色譜柱類型：填充柱		1套
	填充物類型：5A分析篩、Hayesep，脫氧柱
2.控制閥系統(tǒng)	進樣閥：十通電磁閥		1組
	切割控制閥：八通，四通電磁閥		2組
3.分析檢測系統(tǒng)	DID檢測器		1套
	專用電源		1個
4.數(shù)據(jù)分析系統(tǒng)	AGC專用工作站Trend Vision：除完成測試、自動分析/存儲數(shù)據(jù)，自動繪制譜圖、反控氣相色譜、調(diào)節(jié)保留時間及各種切割動作外，多可同時控制4臺色譜儀，圖2所示。		1套
	電腦		1臺
	打印機		1臺
配套組成部分：			數(shù)量
載氣純化器		可再生型，型號75-802，圖3所示。	1個
超高純調(diào)壓器		AGC(P-125)專用的氣體超高純調(diào)壓器(雙極)圖4所示	2個
載氣切換裝置		專用切換閥組	1套
標(biāo)準(zhǔn)氣		各組分均符合檢測要求	1瓶
載氣		超純氦  ＞99.999%	2瓶
驅(qū)動氣		清潔干燥空氣	1瓶

 儀器外形圖

   

                                                                     AGC 100DID主機

             載氣純化器

特氣分析專用吹掃系統(tǒng)

      

技術(shù)服務(wù)

安裝調(diào)試

l  儀器到達客戶現(xiàn)場后，根據(jù)需方建議的時間，供方安排工程師去現(xiàn)場進行儀器開箱驗收及安裝調(diào)試工作。 l  調(diào)試工作由供方負責(zé)，需方應(yīng)積極派出工程師配合供方調(diào)試，并為調(diào)試工作創(chuàng)造必要工作條件。 l  儀器調(diào)試達到廠家儀器說明書指標(biāo)后，需方人員驗收。 l  賣方保證所提供儀器設(shè)備及配置能夠正常投入使用，并用于貴企業(yè)高純氣體的分析，若儀器不能正常投入使用，賣方有權(quán)要求退貨及賠償處理。

培訓(xùn)

l  基礎(chǔ)培訓(xùn)：供方根據(jù)需方要求，可安排一定時間在儀器調(diào)試前進行分析儀器應(yīng)用及維護的基礎(chǔ)知識培訓(xùn)，為期1周，人員2－4名，地點在北京。 l  應(yīng)用培訓(xùn)：需方派出工程師貳名，配合供方開展儀器調(diào)試，并在調(diào)試過程中接受實際應(yīng)用培訓(xùn)。

售后技術(shù)支持

l  現(xiàn)場服務(wù)：自儀器交付客戶之日起，不論何時儀器發(fā)生質(zhì)量問題，供方在接到來電后立即進行技術(shù)咨詢。對儀器問題較嚴(yán)重者，則24小時趕到現(xiàn)場解決。 l  保質(zhì)期為壹年，在保質(zhì)期內(nèi)，因質(zhì)量原因造成儀器損壞的，供方負責(zé)維修及更換損壞的零部件；在保質(zhì)期外，供方仍負責(zé)維修及更換損壞的零部件，但需方需按供方規(guī)定支付有關(guān)費用。但是，供方保證長期以優(yōu)惠價提供零部件。 供方對所提供的儀器協(xié)助解決現(xiàn)場應(yīng)用問題，包括為客戶建立操作規(guī)程，對氣體分析管理組織方案的建議，對化驗室建設(shè)及整改方案的建議。