產(chǎn)品品牌：

ACEGEM

       www.ace-gem.com卓耐科技 超聲波共振2.2裂紋檢測儀是一種離線的工具。這種模式完全適合生產(chǎn)過程中的每一個(gè)階段的質(zhì)量控制操作，包括傳入（和傳出）晶圓或電池質(zhì)量的核查。單元由一個(gè)計(jì)量單元（包括超聲換能器和超聲波探頭）、一個(gè)計(jì)算機(jī)控制的電子單元、有系統(tǒng)運(yùn)行軟件的電腦、數(shù)據(jù)采集和數(shù)據(jù)處理組成。附加的系統(tǒng)包含自動(dòng)輸入，輸出和晶圓/電池的拒絕。該系統(tǒng)安裝在移動(dòng)的推車上，使操作者可以將移動(dòng)檢測器到任何需要的地方，使它即插即用.

規(guī)格

•晶圓/單元尺寸：6”（其他維度也必須說明）。

•全頻率范圍：20至90千赫

•小的聲波信號(hào)：1毫伏

•靈敏度按鈕：100％和0％之間（指標(biāo)準(zhǔn)差系數(shù)）

•傳感器直徑：50mm（2”）

•環(huán)境條件：17 - 35C（穩(wěn)定T，意義著的1C T△在15分鐘內(nèi)）

•周期時(shí)間：平均3秒

•生產(chǎn)量：約1200，不包括堆棧改變

•載入：從堆棧中的自動(dòng)加載

•卸載：從堆棧中自動(dòng)卸載

•拒絕：自動(dòng)進(jìn)入到接待箱

•堆棧：為300晶圓

•軟件：基于的MS Windows

•接口：普通純平個(gè)人電腦

•電源：230V

•空氣和真空（外部）：6Bar的穩(wěn)定氣流

•安全：安全

•手推車尺寸[毫米]：1.350H x800W x1.750L 

系統(tǒng)組件

•位于垂直移動(dòng)的Z -階段的超聲換能器

•位于水平移動(dòng)的X-階段的超聲換能器

•數(shù)字信號(hào)處理器鎖定放大器

•傳送帶及控制器

•進(jìn)進(jìn)出出的晶圓持有者（堆棧）

•選擇和地點(diǎn)輸入

•選擇和地點(diǎn)輸出

•分離抓手