滑閥式油封機械泵（簡稱滑閥泵）同旋片泵一樣，也是一種變?nèi)菔綒怏w傳輸泵。其和范圍和使用條件與旋片泵基本相同。
滑閥泵由于其結(jié)構(gòu)特點，容量比旋片泵大得多，因此常常被用在大型真空設備上。滑閥泵有單級和雙級兩種型式。單級泵的極限壓力對小泵≤0.6Pa，對大泵≤1.3Pa（均關(guān)氣鎮(zhèn)），雙級泵的極限壓力≤0.06Pa（關(guān)氣鎮(zhèn)）。抽速大于150L/s的滑閥泵多采用單級型式。
由于滑閥泵的旋轉(zhuǎn)質(zhì)量有較大的偏心，如果滑很好的質(zhì)量平衡，在運轉(zhuǎn)時會產(chǎn)生較大的振動。但泵旋轉(zhuǎn)質(zhì)心的運動軌跡是形狀復雜的封閉曲線，因此很難實現(xiàn)對滑閥泵慣性力的完全平衡。做好滑閥的質(zhì)量平衡，減少泵的振動一直是滑閥泵需要解決的一個重要課題
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