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雙頻激光干涉儀
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雙頻激光干涉儀

產(chǎn)品價(jià)格:
電議
產(chǎn)品型號(hào):
ZLM800
供應(yīng)商等級(jí):
企業(yè)未認(rèn)證
經(jīng)營(yíng)模式:
工廠
企業(yè)名稱:
上海貝丁漢工業(yè)自動(dòng)化設(shè)備有限公司
所屬地區(qū):
發(fā)布時(shí)間:
2013/1/5 21:28:54

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企業(yè)檔案

上海貝丁漢工業(yè)自動(dòng)化設(shè)備有限公司

企業(yè)未認(rèn)證營(yíng)業(yè)執(zhí)照未上傳

經(jīng)營(yíng)模式:工廠

主營(yíng)產(chǎn)品:激光干涉儀,多點(diǎn)溫度測(cè)量?jī)x,材料色散測(cè)量?jī)x,相位波前角色散測(cè)量?jī)x,載波包絡(luò)相位調(diào)諧儀,載波包絡(luò)相移測(cè)量?jī)x,激光對(duì)中儀,激光同軸度測(cè)量?jī)x,PT100溫度變送器,激光平面度測(cè)量?jī)x,稱重變送器,激光孔位測(cè)量?jī)x

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產(chǎn)品品牌:
耶拿爾
產(chǎn)品型號(hào):
ZLM800

在德國(guó),Jena地區(qū)以生產(chǎn)蔡司光學(xué)產(chǎn)品而聞名。位于該地區(qū)的耶拿爾JENAer公司生產(chǎn)的ZLM700/800雙頻激光干涉儀在同類產(chǎn)品中,由于具有獨(dú)特的性能優(yōu)勢(shì)和簡(jiǎn)單的操作方法而久負(fù)盛名。由本公司代理,德國(guó)耶拿爾JENAer公司生產(chǎn)的雙頻激光干涉儀,是世界上一家將的蔡司光學(xué)鏡用于激光干涉儀領(lǐng)域的制造商。該公司的雙頻激光干涉儀,不僅能夠的測(cè)量數(shù)控機(jī)床的幾何量,如線性度、直線度、垂直度、角度、平面度等,通過(guò)配合使用球桿儀,還能夠測(cè)量數(shù)控機(jī)床的回轉(zhuǎn)量。 ZLM系列雙頻激光干涉儀采用模塊化設(shè)計(jì)和可調(diào)型ASIC元件,用戶可以根據(jù)測(cè)量目的的不同,選擇不同的反射鏡和輔助元件,以完成各種測(cè)量和控制任務(wù)。 ZLM700雙頻激光干涉儀主要用于單軸系統(tǒng)的校準(zhǔn)和測(cè)量,ZLM800干涉儀可從單軸拓展為多軸,廣泛應(yīng)用于高速動(dòng)態(tài)加工工藝中的機(jī)械定位和系統(tǒng)控制。它能夠完全計(jì)算出機(jī)械設(shè)備的運(yùn)行軌跡,并通過(guò)WINDOWS™軟件按用戶設(shè)定的方法對(duì)其進(jìn)行分析。 配用高性能蔡司光學(xué)鏡頭,ZLM70/800雙頻激光干涉儀可以完成以下各種測(cè)量工作:

  • 位置測(cè)量、機(jī)械定位
  • 位移測(cè)量
  • 速度測(cè)量
  • 加速度測(cè)量
  • 角度測(cè)量(俯仰角、偏擺角、滾動(dòng)角)
  • 振動(dòng)度測(cè)量
  • 直線度測(cè)量
  • 垂直度測(cè)量
  • 平面度測(cè)量
  • 回轉(zhuǎn)量測(cè)量
  • 對(duì)工具和儀器進(jìn)行校正

工作原理
型ZLM700/800激光干涉儀使用氦氖激光器,采用雙頻外差式工作模式。激光穩(wěn)頻為0.002ppm,640MHz的頻差經(jīng)四倍后用于信號(hào)處理。這種高頻處理信號(hào)能夠?qū)Ω咚傥矬w進(jìn)行測(cè)量,不會(huì)出現(xiàn)干擾誤差,信號(hào)延時(shí)時(shí)間極短。 采用光纖電纜,把來(lái)自干涉鏡的信號(hào)傳輸?shù)接?jì)算機(jī)卡槽連接的電子計(jì)數(shù)器上,避免了外部電磁環(huán)境對(duì)測(cè)量信號(hào)的干擾。因此,ZLM700/800雙頻激光干涉儀特別適用于惡劣的生產(chǎn)環(huán)境、標(biāo)準(zhǔn)化實(shí)驗(yàn)室和高真空環(huán)境。 除了計(jì)算機(jī)卡槽接口外,還可以使用其他獨(dú)立的電子裝置進(jìn)行數(shù)據(jù)處理,包括各種接口,用于數(shù)據(jù)輸出和連接成為一個(gè)控制環(huán)路。ZLM800型干涉儀可以拓展為六軸測(cè)量。
性能要點(diǎn) 
  • 被測(cè)物體速度16m/s;
  • 無(wú)干擾誤差時(shí)的分辨率2.5nm(使用平面干涉鏡時(shí)的誤差為1.25nm);
  • 無(wú)加速度限制;
  • 當(dāng)光線微弱時(shí),性能也十分穩(wěn)定;
  • 信號(hào)延時(shí)<200ns;
  • 激光器壽命內(nèi),頻率信號(hào)穩(wěn)定;
  • 對(duì)電磁干擾不敏感;
  • 使用超級(jí)蔡司光學(xué)元件。
 

產(chǎn)品的可靠性 
世界范圍內(nèi),ISO9000/9004已經(jīng)被廣泛應(yīng)用于各種質(zhì)量保證體系。這就要求的企業(yè)必須按照相關(guān)要求對(duì)生產(chǎn)工藝和控制過(guò)程進(jìn)行嚴(yán)格的管理。Jenaer公司就是采用這樣質(zhì)量管理體系的公司。 測(cè)量結(jié)果的可靠與否取決于測(cè)量的工具、測(cè)量方法和操作者。測(cè)量系統(tǒng)的校正誤差會(huì)極大影響測(cè)量的結(jié)果的準(zhǔn)確性。

本公司的雙頻激光干涉儀可以通過(guò)軟件來(lái)減小測(cè)量系統(tǒng)的校正誤差。把兩個(gè)四象限傳感器置于激光器內(nèi),一個(gè)用于測(cè)量光束,另一個(gè)用作參考光束,從而保證了以優(yōu)的方式來(lái)校正干涉系統(tǒng)與被測(cè)物體。由于使用大屏幕顯示,系統(tǒng)校正會(huì)非常靈敏,從而方便校正。

使用軟件校正的優(yōu)點(diǎn)

  •  通過(guò)屏幕顯示來(lái)校正系統(tǒng)的,能夠節(jié)約設(shè)定時(shí)間;
  • 激光器的校正是一個(gè)精細(xì)的過(guò)程,即使對(duì)復(fù)雜的測(cè)量任務(wù)也能勝任;
  • 能過(guò)保證校正結(jié)果的性能。



智能化測(cè)量的方法

  ZLM700/800的信號(hào)處理電路采用可調(diào)的ASIC元件。ZLM系列雙頻激光干涉儀針對(duì)不同的測(cè)量目的,采用不同的控制信號(hào),以完成各種測(cè)量工作。 ZLM700/800雙頻激光干涉儀可以連接外部計(jì)數(shù)系統(tǒng),它使得被測(cè)設(shè)備和激光干涉儀之間的比較變得更為方便,節(jié)約過(guò)程時(shí)間。這一過(guò)程使用實(shí)時(shí)耦合信號(hào),使得數(shù)據(jù)分析能夠滿足德國(guó)和世界標(biāo)準(zhǔn)。

數(shù)據(jù)分析處理的標(biāo)準(zhǔn)
VDI / DGQ 3441
DIN / ISO 230
VDI / VDE 2617

NMTBA

精準(zhǔn)的測(cè)量方法 

      即使是標(biāo)準(zhǔn)配置,ZLM700/800雙頻激光干涉儀的分辨率也能夠達(dá)到5nm,測(cè)量?jī)?yōu)于1 µm/m。這就需要使用AUK500自動(dòng)環(huán)境補(bǔ)償器(俗語(yǔ):氣象站)來(lái)提供環(huán)境溫度的一些參數(shù),通過(guò)參數(shù)補(bǔ)償,使其環(huán)境指標(biāo)達(dá)到實(shí)驗(yàn)室測(cè)量的標(biāo)準(zhǔn)。

      ZLM700/800雙頻激光干涉儀使得測(cè)長(zhǎng)機(jī)械和比較器的校正變得更為簡(jiǎn)單。

  空氣環(huán)境對(duì)測(cè)量結(jié)果的影響可以通過(guò)使用AUK500環(huán)境自動(dòng)補(bǔ)償器來(lái)修正,也可以手工輸入來(lái)修正。多可連接五個(gè)材料溫度傳感器對(duì)所測(cè)物體的溫度進(jìn)行補(bǔ)償。


簡(jiǎn)易的測(cè)量方法

ZLM700/800雙頻激光干涉儀使用WINDOWS™數(shù)據(jù)分析軟件,長(zhǎng)度測(cè)量結(jié)果極為準(zhǔn)確,對(duì)測(cè)量數(shù)據(jù)的分析也特別方便。用戶只需要登錄測(cè)量的數(shù)據(jù)庫(kù),就可以輕松查詢各種數(shù)據(jù)表和圖示。無(wú)論是檢測(cè)位置、角度或者是直線度,由卡爾蔡司設(shè)計(jì)的專用軟件都可輕松集成于各種微軟WINDOWS™操作系統(tǒng)中。測(cè)量、分析、記錄收集、數(shù)據(jù)歸檔都可輕松的完成,大大節(jié)約了工作時(shí)間。 對(duì)測(cè)量結(jié)果的處理是一項(xiàng)重要的工作,通過(guò)集成式記錄編輯器,對(duì)圖表、數(shù)據(jù)表和用戶添加的內(nèi)容都可輕松的編輯和打印。所有記錄的內(nèi)容都可導(dǎo)出為Word文檔。 
  在準(zhǔn)備和測(cè)量階段,重要的信息屏幕上會(huì)凸出顯示。僅需要通過(guò)鼠標(biāo)或幾個(gè)按鍵,就可快速現(xiàn)實(shí)各種功能。
要對(duì)測(cè)量的數(shù)據(jù)進(jìn)行計(jì)算和分析,通過(guò)簡(jiǎn)單操作就可生成各種圖解和表格。即使是微小的細(xì)節(jié)也能夠顯示出來(lái)。  
  所測(cè)數(shù)據(jù)可以在存檔卡中進(jìn)行存檔。通過(guò)存檔卡標(biāo)簽,用戶可以輕松的對(duì)某些測(cè)量結(jié)果從大量的文檔中進(jìn)行查找。


優(yōu)勢(shì)性能
      測(cè)量
  • 記錄打印
  • 校準(zhǔn)標(biāo)定
  • 工藝優(yōu)化
      校準(zhǔn)、定位、對(duì)齊
  • 機(jī)器誤差補(bǔ)償
  • 鉛錠誤差補(bǔ)償
  • 螺距誤差補(bǔ)償
      控制
  • 運(yùn)動(dòng)分析
  • 動(dòng)態(tài)行為
  • 誤差補(bǔ)償


技術(shù)參數(shù)

  使用標(biāo)準(zhǔn)數(shù)據(jù)處理器AE700 使用高性能數(shù)據(jù)處理器AE950
He-Ne激光平均波長(zhǎng): 632.8 nm 632.8 nm
激光穩(wěn)頻: 一小時(shí)2x10-9(±0.002ppm) 壽命內(nèi)2x10-8(±0.02ppm) 一小時(shí)2x10-9(±0.002ppm) 壽命內(nèi)2x10-8(±0.02ppm)
系統(tǒng)(0-40℃時(shí)): ±0.4ppm ±0.4ppm
光束直徑: 6mm (可選3.2mm) 6mm (可選3.2mm)
激光管突發(fā)輸出功率: 1mW (激光等級(jí)2) 1mW (激光等級(jí)2)
每束光可測(cè)量的軸數(shù): 1,可選多6個(gè) 1,可選多6個(gè)
線性測(cè)量距離: 40m,可擴(kuò)展為120m 40m,可擴(kuò)展為120m
角度測(cè)量范圍: ± 15°,20m行程 ± 15°,20m行程
平面度測(cè)量范圍: 20m行程 20m行程
直線度測(cè)量范圍: ± 5mm,2m或10m行程, 選用角度干涉儀可測(cè)30m行程 ± 5mm,2m或10m行程, 選用角度干涉儀可測(cè)30m行程
垂直度測(cè)量范圍: ± 5mm,2m或10m行程, 30m行程需用角度干涉儀 ± 5mm,2m或10m行程, 30m行程需用角度干涉儀
速度: 4m/s,可選16m/s 320rad/s 角速度 4m/s,平移量 80rad/s,角速度
加速: 無(wú)限制 無(wú)限制
采樣頻率: 內(nèi)部1MHz,外部40MHz 內(nèi)部1MHz,外部40MHz
預(yù)熱時(shí)間: 12分鐘 12分鐘
/非線性: ±1.25nm (角隅反射鏡) ±0.62nm (平面反射鏡) ±0.3nm (角隅反射鏡) ±0.1nm (平面反射鏡)
距離測(cè)量分辨率: 2.5nm (角隅反射鏡) 1.25nm (平面反射鏡) 0.6nm (角隅反射鏡) 0.3nm (平面反射鏡) 0.1nm 可選
距離測(cè)量: (20°± 0.5°) 使用AUK時(shí) (20°± 0.5°) 真空中時(shí)   ±0.4ppm (μ/m) ±0.08 (±0.02)ppm (μ/m)   ±0.4ppm (μ/m) ±0.08 (±0.02)ppm (μ/m)
線性度測(cè)量分辨率: 2.5nm (角隅反射鏡) 1.25nm (平面反射鏡) 0.62nm可選 0.6nm (角隅反射鏡) 0.3nm (平面反射鏡) 0.1nm 可選
線性度測(cè)量: (20°± 0.5°) 使用AUK時(shí) (20°± 0.5°) 真空中時(shí)   ±0.4ppm (μ/m) ±0.08 (±0.02)ppm (μ/m   ±0.4ppm (μ/m) ±0.08 (±0.02)ppm (μ/m
速度測(cè)量: ±0.5ppm實(shí)測(cè)值 ±0.5ppm實(shí)測(cè)值
角度測(cè)量分辨率: 0.062μrad (12x10-3 弧秒) 0.015μrad (3x10-3 弧秒)
角度測(cè)量: ±0.1ppm實(shí)測(cè)值 ±0.1ppm實(shí)測(cè)值
平面度測(cè)量分辨率: 0.062μrad (12x10-3 弧秒) 0.015μrad (3x10-3 弧秒)
平面度測(cè)量: ±0.2%實(shí)測(cè)值 ±0.05弧度/米運(yùn)行距離 ±0.2%實(shí)測(cè)值 ±0.05 弧度/米運(yùn)行距離
直線度測(cè)量分辨率: 145nm,10m行程 29nm,2m行程 36nm,10m行程 7.25nm,2m行程
直線度測(cè)量: ±0.5%實(shí)測(cè)值,2m行程 ± 2.5%實(shí)測(cè)值,10m行程 ±0.5%實(shí)測(cè)值,2m行程 ± 2.5%實(shí)測(cè)值,10m行程
垂直度測(cè)量分辨率: 145nm,10m行程 29nm,2m行程 36nm,10m行程 7.25nm,2m行程
垂直度測(cè)量: ±0.5%實(shí)測(cè)值2m,± 0.5弧秒* ±2.5%實(shí)測(cè)值10m,± 0.5弧秒* ±0.5%實(shí)測(cè)值2m,± 0.5弧秒* ±2.5%實(shí)測(cè)值10m,± 0.5弧秒*
數(shù)據(jù)接口: 積分信號(hào)
32 Bit (實(shí)時(shí)時(shí)間)
Dt » 20 ns
積分信號(hào)
32 Bit (實(shí)時(shí)時(shí)間)
Dt » 20 ns
數(shù)據(jù)分析標(biāo)準(zhǔn): ISO230/VDI3441/VDI2617/NMTBA ISO230/VDI3441/VDI2617/NMTBA
工作環(huán)境: 溫度:15°C-30°C 濕度: <90%無(wú)冷凝 溫度:15°C-30°C 濕度:<90%無(wú)冷凝
儲(chǔ)存環(huán)境: 溫度:10°C-40°C 濕度:<95%無(wú)冷凝 溫度:10°C-40°C 濕度:<95%無(wú)冷凝
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傳真:
86-021-23010464
類型:
工廠
地址:
上海市莘奉公路4956號(hào)

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