| 產(chǎn)品名稱：微位移測量激光干涉儀 角度擺動(dòng)檢測干涉儀 | |||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 產(chǎn)品型號：ZLM800 | |||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 產(chǎn)品產(chǎn)地：德國 | |||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 制 造 商：德國耶拿爾測量技術(shù)有限公司 | |||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 詳細(xì)介紹: | |||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
ZLM800微位移測量激光干涉儀——雙頻激光干涉儀，主要用于微位移部件的測量，角度變化量的監(jiān)測，移動(dòng)平臺運(yùn)動(dòng)情況的檢測，及光刻機(jī)幾何量的測量，數(shù)控機(jī)床幾何量的測量，多可實(shí)現(xiàn)六軸聯(lián)動(dòng)。具有以下性能優(yōu)勢： l 真正意義上的雙頻激光干涉儀，兩個(gè)光束的頻差為640MHz。請用戶注意“激光干涉儀”和“雙頻激光干涉儀”概念的區(qū)別。德國耶拿爾公司是為數(shù)不多的雙頻激光干涉儀的制造商，眾所周知雙頻激光干涉儀更好、性能更穩(wěn)定。 l 全部部件皆在德國生產(chǎn)制造，絕非為了降低成本而在第三方國家進(jìn)行部件加工。光學(xué)組件全部采用蔡司光學(xué)鏡，是世界上一家將的蔡司光學(xué)鏡用于激光干涉儀領(lǐng)域的產(chǎn)品制造商。 l 激光器壽命更長，可達(dá)20000小時(shí)，激光穩(wěn)頻高，一小時(shí)內(nèi)為±0.002ppm，在產(chǎn)品壽命內(nèi)可達(dá)±0.02ppm。 l 干涉鏡采用差分干涉原理，系統(tǒng)更高，可達(dá)±0.4ppm。 l 計(jì)算機(jī)輔助光路調(diào)整，調(diào)整結(jié)果更準(zhǔn)確。 l 采樣頻率更快，達(dá)1MHz，可在0.001Hz-1MHz之間進(jìn)行選擇。 l 被測物體速度16m/s（可選）；采用高AE950 PCI數(shù)據(jù)處理器，分辨率達(dá)0.6nm（當(dāng)移動(dòng)速度為1m/s時(shí)，線性分辨率更可高達(dá)為0.1nm）。 l 無加速度限制；當(dāng)光線微弱時(shí)，性能也十分穩(wěn)定。 l 信號延時(shí)<200ns；對電磁干擾不敏感。 l 對于多軸聯(lián)動(dòng)的復(fù)雜光路測量和微位移測量，ZLM800型是理想的選擇。 技術(shù)參數(shù)
應(yīng)用 以下是為中國科學(xué)院設(shè)計(jì)的ZLM800雙頻激光干涉儀兩個(gè)應(yīng)用。在個(gè)中，用兩個(gè)3軸角度干涉儀分別監(jiān)視兩個(gè)擺鏡的擺動(dòng)，實(shí)時(shí)測試兩個(gè)擺鏡對應(yīng)量（俯仰、偏擺和位移）的差異情況。在第二個(gè)中，用一個(gè)3軸角度干涉儀來測試擺鏡的鏡面擺動(dòng)情況，2個(gè)單軸位移干涉儀檢測一個(gè)兩軸位移平臺的運(yùn)動(dòng)情況。 以下是為國內(nèi)某研究所某項(xiàng)目設(shè)計(jì)的ZLM800測量系統(tǒng)。用戶預(yù)先把被測物體放置在密閉箱中，密閉箱留有觀察窗口。所需要測量的數(shù)據(jù)是被監(jiān)視目標(biāo)Ⅰ、被監(jiān)視目標(biāo)Ⅱ的X、Y向的角度變化量，以及這兩個(gè)目標(biāo)在Z方向的相對變化量。 ZLM800部分光路圖示例和部件示意圖 | |||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
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