SGC-5型光柵尺基本參數(shù)量程?。?0～570mm輸出信號?。篢TL、HTL、ELA-422-A、11μApp、1Vpp柵 距：0.04mm(25線對)、0.02mm(50線對)分 辨 率：10μm、5μm、1μm、0.5μm響應速度?。?20m/min、60m/min、30m/min、15m/min位參考點：每100mm1個、每500mm1個、距離編碼精 度：執(zhí)行/T10080.2-2000行業(yè)標準工作溫度?。?～+50℃存儲溫度?。?40～+50℃護等級?。篒P53
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