特點(diǎn)
•大幅度了驅(qū)動(dòng)速度(X軸：80mm/s, Z2軸：20mm/s)，近一步降低了總測(cè)量時(shí)間。
•為了在時(shí)段內(nèi)維持儀器的直線度規(guī)格，三豐公司采用了具有的耐摩擦性及穩(wěn)定性的高硬度陶瓷導(dǎo)軌。
•大量的外周設(shè)備選件支持CNC模式，從而可以很容易實(shí)現(xiàn)CNC測(cè)量。
•驅(qū)動(dòng)裝置(X軸)和立柱(Z2軸)中集成了高線性編碼器(Z2軸為ABS型)，從而了在垂直方向持續(xù)自動(dòng)測(cè)量小孔和不易定位工件的重復(fù)。
• X軸：&plun;(0.8+0.01L)μm,Z1軸：&plun;(0.8+|0.5H|/25)μm*，針對(duì)高工件的測(cè)量所設(shè)計(jì)。
* CV-4100S4, H4, W4型L為驅(qū)動(dòng)長(zhǎng)度，H為測(cè)量高度(mm)
• CV-4100系列的驅(qū)動(dòng)裝置集成了激光全息測(cè)微計(jì)檢測(cè)器，在Z軸(垂直方向)的窄／寬測(cè)量范圍內(nèi)，提供卓越的和分辨率。
技術(shù)參數(shù)
X軸
測(cè)量范圍: 100mm或200mm
分辨率: 0.05μm
檢測(cè)方法:反射型線性編碼器
驅(qū)動(dòng)速度: 80mm/s和手動(dòng)
測(cè)量速度: 0.02 - 5mm/s
移動(dòng)方向:向前／向后
直線度: 0.8μm/100mm, 2μm/200mm
*當(dāng)X軸在水平方向上指示: &plun;(1+0.01L)μm (CV-3100S4, H4, W4)(20° C時(shí)) &plun;(0.8+0.01L)μm (CV-4100S4, H4, W4)&plun;(1+0.02L)μm (CV-3100S8, H8, W8)
&plun;(0.8+0.02L)μm (CV-4100S8, H8, W8)
* L為驅(qū)動(dòng)長(zhǎng)度(mm)傾斜范圍: &plun;45°
Z2軸(立柱)
垂直行程: 300mm或500mm
分辨率: 1μm
檢測(cè)方法: ABSOLUTE線性編碼器
驅(qū)動(dòng)速度: 0 - 20mm/s和手動(dòng)
Z1軸(檢測(cè)器)
測(cè)量范圍: &plun;25mm
分辨率: 0.2μm (CV-3100), 0.05μm (CV-4100)
檢測(cè)方法:線性編碼器(CV-3100),
激光全息測(cè)微計(jì)(CV-4100)
指示: &plun;(2+I4HI/100)μm (CV-3100)(20° C時(shí)) &plun;(0.8+I2HI/100)μm (CV-4100)
*H為水平位置上的測(cè)量高度(mm)
測(cè)針上／下運(yùn)作:弧形運(yùn)動(dòng)
測(cè)針?lè)较?/span>:向上／向下
測(cè)力: 30mN
跟蹤角度:向上：77°、向下：87°
(根據(jù)表面粗糙度，使用標(biāo)準(zhǔn)單切面測(cè)針)
測(cè)針針尖 半徑: 25μm、硬質(zhì)合金針尖
基座尺寸(W x H):750 x 600mm或1000 x 450mm
基座材料:花崗巖
重量
主機(jī): 140kg (S4), 150kg (H4), 155kg (W4)
145kg(S8), 155kg (H8), 160kg (W8)
控制裝置:14kg
遙控箱: 0.9kg
電源: 100 – 240VAC &plun;10%, 50/60Hz
能耗: 400W (限主機(jī))
