電感耦合等離子體質(zhì)譜儀 (簡稱ICP-MS），是20世紀(jì)80年代發(fā)展起來的一種新的微量（10-6）、痕量（10-9）和痕量（10-12）元素分析技術(shù)。可測(cè)定元素周期表中大部分元素，低的檢出限、寬的動(dòng)態(tài)線性范圍、譜線簡單、干擾少、精密度高、分析速度快、可提供同位素分析。

性能優(yōu)勢(shì)

1、分析速度快、操作簡單、靈敏度高、背景噪音低、消除干擾效果更佳、維護(hù)方便。
2、一鍵式等離子體設(shè)置使得等離子體的優(yōu)化更為簡便具有好的重現(xiàn)性。
3、等離子體屏蔽技術(shù)，大地儀器的靈敏度，低質(zhì)量數(shù)元素的檢出限，ppt水平。
4、具有的活動(dòng)接口門結(jié)構(gòu)，可在真空下替換和裝卸采樣錐與截取錐，便于日常維護(hù)。
5、六級(jí)桿碰撞反應(yīng)池，離子傳輸效率和消除多原子離子干擾能力。
6、無需數(shù)/模切換，由計(jì)算機(jī)全自動(dòng)設(shè)定和控制，實(shí)現(xiàn)9個(gè)數(shù)量級(jí)的濃度動(dòng)態(tài)范圍。
7、新型真空腔體結(jié)構(gòu)，導(dǎo)線連接，各個(gè)組件采用不對(duì)稱安裝和式安裝。

軟件優(yōu)勢(shì)

ICP-MS2000提供便捷的操作軟件，直觀，。軟件囊括了目前分析方法，包括的同位素比值和同位素稀釋法。
智能選擇方法、智能儀器調(diào)諧、QC質(zhì)量控制、多種分析方法組合功能、序列分析、自動(dòng)監(jiān)測(cè)功能、自定義格式。

儀器配置

進(jìn)樣系統(tǒng)：敞開式進(jìn)樣系統(tǒng)結(jié)構(gòu)，使用外部安裝的霧化器，自我定位，無需調(diào)整。
蠕動(dòng)泵：計(jì)算機(jī)控制3通道12滾軸低脈沖蠕動(dòng)進(jìn)樣泵，轉(zhuǎn)速可調(diào)。
霧化器：石英玻璃同心霧化器(0.8 mL/min)。
霧化室：小體積，低記憶效應(yīng)，采用半導(dǎo)體制冷裝置高純石英霧化室，單通道梨型帶撞擊球。
炬管：整體型石英炬管，1.5 mm口徑。
ICP源：27.12 MHz固態(tài)技術(shù)，水冷，功率1600 W。計(jì)算機(jī)控制功率，自動(dòng)點(diǎn)火與熄火。
炬位調(diào)整系統(tǒng)：計(jì)算機(jī)控制x、y、z三維炬管位置，調(diào)整參數(shù)存入分析方法內(nèi)。
氣體控制系統(tǒng)：3個(gè)計(jì)算機(jī)控制的質(zhì)量流量計(jì)，用于霧化氣，輔助氣，等離子體氣的氣流量控制。
斷電保護(hù)系統(tǒng)：在意外停電發(fā)生時(shí)，自行關(guān)機(jī)，而不損壞儀器系統(tǒng)。
接口：鎳錐，具有的活動(dòng)接口門結(jié)構(gòu)，易于替換和裝卸采樣錐與截取錐。
活動(dòng)閥門：計(jì)算機(jī)控制閥門，保護(hù)儀器真空，便于在真空系統(tǒng)工作時(shí)拆裝和清洗采樣錐和截取錐。
離子透鏡系統(tǒng)：配有率六桿離子導(dǎo)向系統(tǒng)，在全質(zhì)量范圍內(nèi)獲得的離子傳輸效率，全自動(dòng)的離子聚焦調(diào)諧過程，真空室內(nèi)的透鏡使用非對(duì)稱安裝，方便拆裝定位。
四桿特征：鉬四桿，主桿180 mm×12 mm，預(yù)四級(jí)桿20 mm×12 mm，開蓋即可安裝，拆裝。
四桿RF發(fā)生器：風(fēng)冷2.0 MHz，質(zhì)量軸穩(wěn)定性<0.05 amu/day。
質(zhì)譜范圍：2~255 amu。
檢測(cè)器：ETP雙模式檢測(cè)器，分成兩部分分列打拿電子器，無需數(shù)/模切換。
測(cè)量范圍：>108
多通道信號(hào)分析器：65000道多通道信號(hào)分析器，適應(yīng)信號(hào)分析要求。
信號(hào)采集模式：跳峰，掃描，分段掃描，同時(shí)跳峰和掃描混合型。
軟件：提供自動(dòng)控制儀器及其附件的能力，Windows 2000/XP/vista/win7(32位或64位)操作系統(tǒng)。
水循環(huán)系統(tǒng)：溫度控制：10~40℃；小流速：5升/分鐘，壓力控制：0~600 kPa。

技術(shù)參數(shù)

質(zhì)量數(shù)量范圍：2~255 amu
測(cè)量范圍：≥108      
靈敏度： Be≥2×106 ； In≥35×106 ； U≥30×106     單位（cps/mg/L）
檢出限： Be≤10；In ≤2；U≤2  單位（ng/L）
分辨率：0.6~0.8 amu
信噪比：≥50×106           
背景噪音：≤2 cps（全質(zhì)量范圍）
質(zhì)量軸穩(wěn)定性：≤0.05 amu/24 h
穩(wěn)定性RSD： 短期≤3%；長期≤4%
氧化物離子：CeO+/Ce+≤3%
雙價(jià)離子：69Ba2+/138Ba+ ≤3%
同位素比：（107Ag/109Ag）≤0.3%
豐度靈敏度：≤1×10-6低質(zhì)量端；≤5×10-7高質(zhì)量端

應(yīng)用領(lǐng)域

1、環(huán)境領(lǐng)域：飲用水、海水、環(huán)境水資源食品、衛(wèi)生疫、商檢等。
2、半導(dǎo)體領(lǐng)域：高屬，高純?cè)噭?，Si 晶片的痕量雜質(zhì)，光刻膠等。
3、醫(yī)藥及生理分析領(lǐng)域：頭發(fā)、全血、血清、尿樣、生物組織等醫(yī)藥研究，是全血鉛的測(cè)定。
4、核工業(yè)領(lǐng)域：核燃料的放射性同位素的分析，初級(jí)冷卻水的污染分析等。
5、其他領(lǐng)域：如化工，石化、地質(zhì)等。