產(chǎn)品介紹
激光干涉測量具有高的,是測量科學(xué)中重要的手段之一,幾十年來已經(jīng)在各行業(yè)有著廣泛的應(yīng)用。一單頻干涉測量儀相比,基于外差技術(shù)的雙頻機關(guān)干涉測量儀具有干擾性好,工作穩(wěn)定的有點,是高測量行業(yè)的測量手段。清華大學(xué)推出的LH2000型雙頻激光干涉儀,擁有自主知識產(chǎn)權(quán),及時指標(biāo)國外同等水平,是測量行業(yè)用戶的選擇。
應(yīng)用場所
數(shù)控機床校準(zhǔn)、三坐標(biāo)機校準(zhǔn)、光學(xué)平臺校準(zhǔn)、光刻機校準(zhǔn)、振動測量等。
系統(tǒng)特點
1采用氦氖雙頻激光進行測量,干擾性好
2頻差達7MHZ&plun;1Mhz,測量速度可達2m/s
3結(jié)構(gòu)簡單,方便易用
4自動環(huán)境補償,測量。
5擁有自主知識產(chǎn)權(quán),售后保障
6可根據(jù)客戶需奧提供系統(tǒng)解決方案
規(guī)格參數(shù)
激光頭尺寸 330*110*130mm
激光頭重量 3.3Kg
激光工作波長 632.8nm
激光功率 0.5-1mW
激光光束直徑 5mm
頻差 7Mhz&plun;1Mhz
工作溫度范圍 0℃-+40℃
系統(tǒng)組成 激光頭、光學(xué)組件 、補償傳感器、 筆記本電腦、連接電纜
激光穩(wěn)頻 1*10-8
線性測量范圍 10m
線性測量 1*10-6】
分辨率 1nm
測量速度蘇 2m/s
可定做更高頻差