NEXIV VMR-H3030系列
該設(shè)備具有高的以及多種多樣的功能，XYZ行程為300×300×150毫米，不可以用于各種精密模具、精密件的測(cè)量，還可以作為精密檢測(cè)室的主檢測(cè)設(shè)備使用。 8方向程控LED 環(huán)形照明系統(tǒng)、自動(dòng)影象對(duì)焦以及具有掃描功能的激光自動(dòng)對(duì)焦裝置均為標(biāo)準(zhǔn)配置。15倍變焦比的5段程控變焦鏡組，可以在各段（倍率）間進(jìn)行自由切換，以滿足低倍大視場(chǎng)觀察搜索和精密測(cè)量?jī)煞矫娴男枨?。以低熱膨脹材料制做的光柵本身就具有高的，加上其合理的布局以及?jiān)固耐用的硬件設(shè)計(jì)，使 NEXIV VMR-H3030 的測(cè)量不確定度了亞，可以滿足精密模具的檢測(cè)需求。
1、2、3 型
，適于用作精密檢測(cè)室的主檢測(cè)設(shè)備；3個(gè)型號(hào)（1、2、3 型）各自有 5 級(jí)放大倍率，可滿足不同視場(chǎng)及倍率要求；有多種多樣的照明方式可供選擇，以模具邊界準(zhǔn)確探測(cè)的需求；較長(zhǎng)的工作距離（50毫米），可滿足測(cè)量對(duì)工件高度方向的空間需求；15倍的變焦比，可以滿足低倍大視場(chǎng)觀察搜索和精密測(cè)量?jī)煞矫娴男枨?。與無(wú)級(jí)變焦機(jī)構(gòu)相比，采用5段、定倍自動(dòng)變焦機(jī)構(gòu)可以使測(cè)量更加快速、準(zhǔn)確。應(yīng)用領(lǐng)域：精密檢測(cè)室的主檢測(cè)設(shè)備，模具及精密機(jī)械件測(cè)量。精密掩模板精密機(jī)械件模具
Z120X 型（帶頭）
具有的載物臺(tái)，與頭配合使用，能夠準(zhǔn)確測(cè)量工件的細(xì)微部位（如精密掩膜及芯片凸點(diǎn)高度等關(guān)鍵尺寸）光學(xué)放大倍數(shù)可達(dá)120X，能夠測(cè)量微距線寬；、高的載物臺(tái)有助于對(duì)較大的物體尺寸，進(jìn)行快速、準(zhǔn)確地測(cè)量；可以分別測(cè)量刻線的上下寬度；激光自動(dòng)掃描功能，可以用來(lái)測(cè)量芯片上的微小凸點(diǎn)高度以及錫球截面形狀等；可以對(duì)激光掃描所得的截面輪廓形狀進(jìn)行評(píng)估。應(yīng)用領(lǐng)域：各種芯片級(jí)封裝、芯片上的凸點(diǎn)高度、各種精密掩膜板等。精密掩模板倒裝芯片上的凸點(diǎn)芯片凸點(diǎn)形貌色標(biāo)顯示Nikon 全自動(dòng)影像量測(cè)系統(tǒng)
高全自動(dòng)影像量測(cè)系統(tǒng) VMR1515//VMR-3020/VMR-6555/VMR10080/VMR12072 |
【光源】 |
