AL120晶圓搬送機(jī)可對應(yīng)200mm以下晶圓尺寸的硅、化合物晶圓，可以搬送薄片晶圓，適合于前道到后道工程的晶圓檢查。
適應(yīng)范圍廣、搭配靈活
對應(yīng)多種尺寸組合
我們推出了200 mm型、200 mm/150 mm兼用型和150 mm型（對應(yīng)小于150 mm的晶圓）的3種型號。除此以外，您還可以根據(jù)檢查模式，選用微觀檢查型號"L型"或微觀•宏觀檢查兼用型號"L型"。
晶圓尺寸•厚度對應(yīng)表
薄片檢查
對應(yīng)薄片制造廠家的需求，AL120-L-90搭載的新型搬送手臂的設(shè)計可以搬運整盒25枚90 μm的薄晶圓。
高度實用性
進(jìn)一步優(yōu)化的宏觀檢查
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操作便捷
- 為了滿足各種常規(guī)檢查的要求，AL120可以登記多達(dá)10個檢查程序。使用這一功能可以記錄特定的卡盒、晶圓和傳輸速度?？焖俨藛芜x擇按鈕則可以讓操作員立刻切換不同程序。
- 晶圓搬送機(jī)的菜單設(shè)置和設(shè)置參數(shù)都會在新型的LCD顯示器上顯示。 使用RECALL按鈕可以顯示檢查時登記的有缺陷的對應(yīng)SLOT，便于操作者再次確認(rèn)。
- AL120使用非接觸光學(xué)定位、查找和對齊缺口／平面，可以減少晶圓和設(shè)備之間的接觸，晶圓的清潔度。
高度性
優(yōu)先考慮晶圓和操作者的
- 為了能夠的安裝晶圓，采用了在裝置正面放置片盒的設(shè)計。
- 在性和人機(jī)工學(xué)上通過了SEMI S2/S8檢測，同時，在環(huán)境保護(hù)方面遵守了RoHS指令。
堅固、耐用的顯微鏡底座
AL120搭載奧林巴斯MX晶圓檢查顯微鏡系列，通過各種觀測方法，包括：明視場、暗視場、微分干涉（DIC）、近IR（近）和DUV（深紫外線），實現(xiàn)了卓越的圖像分辨率和清晰度。電動物鏡轉(zhuǎn)換器和孔徑光闌相互鎖定，可以優(yōu)化各物鏡的照明和對比度。如果訂制，AL120還可以應(yīng)用到其他型號的顯微鏡上。
人機(jī)工程學(xué)設(shè)計的載物臺
- 手動快速釋放真空載物臺可以操作員的舒適度和工作效率，標(biāo)準(zhǔn)功能為XY軸控制和晶圓旋轉(zhuǎn)功能。
- 可通過操縱桿或預(yù)編程的程序控制電動載物臺，進(jìn)一步將檢查過程自動化。一鍵便可驅(qū)動載物臺返回或離開load/unload位置及原點位置。
技術(shù)規(guī)格
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* 多可登記10種片盒 |
